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Mechanics of deformation and fracture in metal/ceramic nano-laminated thin films

Mechanics of deformation and fracture in metal/ceramic nano-laminated thin films
金属/陶瓷纳米层压薄膜的变形和断裂力学
批准号：
22860053
负责人：
NAKATANI Masanori
金额：
$1.96万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22860053/
关键词：
積層構造表面構造薄膜機械的特性自立化積層薄膜自立アルミニウムアルミナ変形破壊窒化アルミ

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A fabrication method of free-standing metal/ceramic nano-laminate thin film and its tensile testing technique was developed, and the deformation and fracture behavior of free-standing metal/ceramic nano-laminate thin film was investigated. The fracture toughness of Cu/Al_2O_3 laminated film with 5 layers (thickness: 500nm, Cu: 120nm, Al_2O_3: 60nm) was lower than that of Cu film (thickness: 500nm). However, Cu layer with a thickness of only 120nm in laminated film still caused plastic deformation. Moreover, we proposed a novel technique for the fabrication of laminated film with surface nanostructure.
期刊论文(11)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
イオンビーム支援蒸着法により成膜したTiN薄膜の破壊挙動
离子束辅助沉积法沉积TiN薄膜的破坏行为
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [中谷正憲, 花木聡, 内田仁]
通讯作者： 内田仁
イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価
离子束辅助硬质氮化物薄膜的制备与表征
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： プラズマ応用科学
影响因子： --
作者： [三好悠司, 並木周, 北山研一, 内田仁,花木聡,中谷正憲]
通讯作者： 内田仁,花木聡,中谷正憲
島状表面ナノ構造を有するTiN薄膜の創製と機械的特性
具有岛状表面纳米结构的TiN薄膜的制备和机械性能
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [中谷正憲, 大澤拓也, 花木聡, 内田仁]
通讯作者： 内田仁
Formation and mechanical properties of island-like nanostructured titanium nitiride thin film by ion beam assisted deposition
离子束辅助沉积岛状纳米结构氮化钛薄膜的形成及其力学性能
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [Masanori Nakatani, Takuya Ohsawa, Satoshi Hanaki, Hitoshi Uchida]
通讯作者： Hitoshi Uchida
共 11 条
    The identities of Muslim immigrants in European countries
    • 批准号：
      22530142
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.08万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      NAKATANI Masanori
    • 依托单位：
      Kyoto Sangyo University
    海外基金