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Estimation Method of Unvertainty on Nanometer Three Dimensional Measurement

Estimation Method of Unvertainty on Nanometer Three Dimensional Measurement
纳米三维测量的不稳定性估计方法
批准号：
22246016
负责人：
TAKAMASU Kiyoshi
金额：
$18.39万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22246016/
关键词：
ナノメートル計測三次元計測不確かさ推定形状測定

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ナノ・マイクロスケール機械工学
纳米/微米机械工程
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [増田礼, 加治大伸, 井上和仁, 木田暁, 一柳満久, 高木周, 松本洋一郎, 石原直（編集），光石衛（編集），渡邉聡（編集），加藤千幸（編集），一柳満久（分担著者）]
通讯作者： 石原直（編集），光石衛（編集），渡邉聡（編集），加藤千幸（編集），一柳満久（分担著者）
Line Width and Line Profile Measurement of Photoresist Using STEM Images
使用 STEM 图像测量光刻胶的线宽和线轮廓
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu]
通讯作者： Kiyoshi Takamasu
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发表时间： 2013
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发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： [Kajiwara, I., Harada, H., and Nakano, K, 木下雄介, 高増潔]
通讯作者： 高増潔
共 87 条
    Generation of traceable absolute three dimensional space in production environment using femtosecond laser
    • 批准号：
      23656175
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Study on uncertainty of measurement of coordinate metrology for next generation manufacturing system
    • 批准号：
      16206025
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $17.14万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Study on evaluation method of uncertainty in coordinate metrology
    • 批准号：
      13450099
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.04万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Development of the coordinate measuring machine with nanometer resolution and establishment of the method for evaluation of the accuracy
    • 批准号：
      13555070
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.51万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    海外基金