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Estimation Method of Unvertainty on Nanometer Three Dimensional Measurement
纳米三维测量的不稳定性估计方法
基本信息
- 批准号：22246016
- 负责人：
- 金额：$ 18.39万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2010
- 资助国家：日本
- 起止时间：2010-04-01 至 2015-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（96）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
ナノ・マイクロスケール機械工学
纳米/微米机械工程
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：増田礼;加治大伸;井上和仁;木田暁;一柳満久;高木周;松本洋一郎;石原直（編集），光石衛（編集），渡邉聡（編集），加藤千幸（編集），一柳満久（分担著者）
- 通讯作者：石原直（編集），光石衛（編集），渡邉聡（編集），加藤千幸（編集），一柳満久（分担著者）
Line Width and Line Profile Measurement of Photoresist Using STEM Images
使用 STEM 图像测量光刻胶的线宽和线轮廓
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Haruki Okito;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu
- 通讯作者：Kiyoshi Takamasu
多点法による誤差分離手法と不確かさ推定
使用多点法的误差分离方法和不确定性估计
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kazutaka Fujita;Yoshihiko;Yokoyama;Hidemi Kato;Satoshi Emura and KoichiTsuchiya;高増潔
- 通讯作者：高増潔
GPS規格の概要 －高精度の形状・大きさ・寸法を実現するためのGPS規格－
GPS标准概述 - 用于实现高精度形状、尺寸和尺寸的 GPS 标准 -
- DOI：
- 发表时间：
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kajiwara;I.;Harada;H.;and Nakano;K;木下雄介;高増潔
- 通讯作者：高増潔
STEMを用いた半導体線幅測定および線形状測定のサブナノメートル校正
使用 STEM 进行半导体线宽和线形测量的亚纳米校准
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K.Fujita;T.Suidu;T.Yamasaki;伊佐治恵;H.Tamiaki;高増潔
- 通讯作者：高増潔
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
TAKAMASU Kiyoshi其他文献
Diameter Measurement of a Microsphere Based on Whispering Gallery Mode Resonance
基于回音壁模式共振的微球直径测量
- DOI：
10.2493/jjspe.84.77 - 发表时间：
2018 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
MICHIHATA Masaki;CHU Bohuai;ZHAO Zheng;HAYASHI Kohei;TAKAMASU Kiyoshi;TAKAHASHI Satoru - 通讯作者：
TAKAHASHI Satoru
Fundamental study on micro-scaled additive manufacturing using optical potential induced by optical radiation pressure by Bessel beam
贝塞尔光束光辐射压诱导光势微尺度增材制造基础研究
- DOI：
10.1299/transjsme.19-00244 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
MICHIHATA Masaki;HAYASHI Masahiro;YOKEI Makoto;TAKAMASU Kiyoshi;TAKAHASHI Satoru - 通讯作者：
TAKAHASHI Satoru
TAKAMASU Kiyoshi的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('TAKAMASU Kiyoshi', 18)}}的其他基金
Generation of traceable absolute three dimensional space in production environment using femtosecond laser
利用飞秒激光在生产环境中生成可追踪的绝对三维空间
- 批准号：
23656175 - 财政年份：2011
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Study on uncertainty of measurement of coordinate metrology for next generation manufacturing system
下一代制造系统坐标测量测量不确定度研究
- 批准号：
16206025 - 财政年份：2004
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Study on evaluation method of uncertainty in coordinate metrology
坐标计量不确定度评定方法研究
- 批准号：
13450099 - 财政年份：2001
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Development of the coordinate measuring machine with nanometer resolution and establishment of the method for evaluation of the accuracy
纳米分辨率三坐标测量机的研制及精度评价方法的建立
- 批准号：
13555070 - 财政年份：2001
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Development of nano-CMM (Coordinate Measuring Machine with Nanometer Resolution)
开发纳米CMM（纳米分辨率坐标测量机）
- 批准号：
07455109 - 财政年份：1995
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Study on Three Dimensional Position and Displacement Measurements for Mobil Robot
美孚机器人三维位置与位移测量研究
- 批准号：
05650261 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
相似海外基金
界面ナノ三次元計測を基盤とする固気液接触線の超スケール研究
基于界面纳米三维测量的固气液接触线超尺度研究
- 批准号：
24KJ1778 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
伝導度計測に基づく単一分子スケールにおける表面電位三次元計測法の開発
基于电导率测量的单分子尺度表面电势三维测量方法的发展
- 批准号：
23K21124 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
三次元計測とハンドリングのためのハンドアイシステムの最適モーションプランニング
用于 3D 测量和处理的手眼系统的最佳运动规划
- 批准号：
24K07379 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
三次元計測による古代スリランカの水利遺構の編年構築と築造技術の解明
使用三维测量阐明斯里兰卡古代灌溉结构的年代构造和施工技术
- 批准号：
24K04363 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
全周分光三次元計測システムの開発
全圆光谱三维测量系统的研制
- 批准号：
24K15006 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
三次元計測法を用いたトーラスプラズマの空間構造の自発的形成過程の解明
利用三维测量方法阐明环面等离子体空间结构的自发形成过程
- 批准号：
24KJ1549 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Three-dimensional measurement of driven topological defects for elucidating liquid crystal turbulence
用于阐明液晶湍流的驱动拓扑缺陷的三维测量
- 批准号：
22KJ0843 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
In situ three-dimensional measurement of wide bandgap semiconductors with stimulated Raman scattering
利用受激拉曼散射对宽带隙半导体进行原位三维测量
- 批准号：
23H00271 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測
使用近红外光源的掠入射干涉仪对刮擦表面的精细形状进行大面积精密三维测量
- 批准号：
23K03606 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Three-dimensional measurement of cell-sercreted molecules using probe-type artificial cell membrane systems
使用探针型人工细胞膜系统对细胞分泌分子进行三维测量
- 批准号：
23H01822 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 18.39万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)