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Estimation Method of Unvertainty on Nanometer Three Dimensional Measurement

Estimation Method of Unvertainty on Nanometer Three Dimensional Measurement
纳米三维测量的不稳定性估计方法
批准号:
22246016
负责人:
TAKAMASU Kiyoshi
金额:
$18.39万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2010
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2010-04-01 至 2015-03-31

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期刊论文(96)
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DOI: --
发表时间: 2014
期刊:
影响因子: --
作者: [増田礼, 加治大伸, 井上和仁, 木田暁, 一柳満久, 高木周, 松本洋一郎, 石原直(編集),光石衛(編集),渡邉聡(編集),加藤千幸(編集),一柳満久(分担著者)]
通讯作者: 石原直(編集),光石衛(編集),渡邉聡(編集),加藤千幸(編集),一柳満久(分担著者)
Line Width and Line Profile Measurement of Photoresist Using STEM Images
使用 STEM 图像测量光刻胶的线宽和线轮廓
DOI: --
发表时间: 2013
期刊:
影响因子: --
作者: [Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu]
通讯作者: Kiyoshi Takamasu
多点法による誤差分離手法と不確かさ推定
使用多点法的误差分离方法和不确定性估计
DOI: --
发表时间: 2013
期刊:
影响因子: --
作者: [Kazutaka Fujita, Yoshihiko, Yokoyama, Hidemi Kato, Satoshi Emura and KoichiTsuchiya, 高増潔]
通讯作者: 高増潔
GPS規格の概要 -高精度の形状・大きさ・寸法を実現するためのGPS規格-
GPS标准概述 - 用于实现高精度形状、尺寸和尺寸的 GPS 标准 -
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: [Kajiwara, I., Harada, H., and Nakano, K, 木下雄介, 高増潔]
通讯作者: 高増潔
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    Generation of traceable absolute three dimensional space in production environment using femtosecond laser
    • 批准号:
      23656175
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额:
      $2.5万
    • 财政年份:
      2011
    • 负责人:
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位:
    Study on uncertainty of measurement of coordinate metrology for next generation manufacturing system
    • 批准号:
      16206025
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额:
      $17.14万
    • 财政年份:
      2004
    • 负责人:
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位:
    Study on evaluation method of uncertainty in coordinate metrology
    • 批准号:
      13450099
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $7.04万
    • 财政年份:
      2001
    • 负责人:
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位:
    Development of the coordinate measuring machine with nanometer resolution and establishment of the method for evaluation of the accuracy
    • 批准号:
      13555070
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $8.51万
    • 财政年份:
      2001
    • 负责人:
      TAKAMASU Kiyoshi
    • 依托单位:
    海外基金