课题基金 / 基金详情

大気圧・低真空環境下でのSTMナノプロセシング

大気圧・低真空環境下でのSTMナノプロセシング
大气压、低真空环境下的STM纳米加工
批准号：
04205025
负责人：
吉田 豊信
金额：
$1.6万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04205025/
关键词：
STMナノプロセシング用基板メタン-水素系CVDsemi in-situ評価プロセシング

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
熱フィラメントCVD部とSTM部とを分離し、両者間の基板移動を精密ステージにより行い、ナノメーターオーダーでの同一範囲内での一連の堆積過程のsemi in-situ評価/プロセシングが可能な装置を設計・試作した、基板移動にはマイクロメータを利用したステージを使用すると同時に、基板支持棒へのインバー合金の使用により熱膨張の影響を抑え、ミクロンオーダーでの基板移動制御を可能とした。それと同時に、STM-フィラメント間にシャッターを設置してSTM部への熱的影響を最小限に抑えることにより、装置の作動城を従来のin-situナノプロセシング装置では不可能であったダイヤモンド堆積条件付近まで拡大した。また、ガス雰囲気中・低真空中におけるナノプロセシング用基板としてのHOPG基板使用の可能性を検討した。ダイヤモンドの堆積が確認され、CVD過程初期のナノメーターレベルでの微細構造観察に使用可能なことを確認した。以上の結果を基に、本装置の、ダイヤモンド薄膜合成などへ向けたCH_4-H_2系CVD初期過程のSTMによるsemi in-situ観察への応用を図った。フィラメント温度1500〜2000℃、圧力50Torr、水素希釈のメタン濃度1%、堆積時間10秒の条件により堆積前後のsemi in-situ観察を行った。現状では原子レベルの像はまだ得られていないものの、数nmを解像可能であり、CVD初期、程い適用可能な状態にある。これにより、ダイヤモンドナノグラフォエピタキシーへの応用が期待される。
英文摘要
熱フィラメントCVD部とSTM部とを分離し、両者間の基板移動を精密ステージにより行い、ナノメーターオーダーでの同一範囲内での一連の堆積過程のsemi in-situ評価/プロセシングが可能な装置を設計・試作した、基板移動にはマイクロメータを利用したステージを使用すると同時に、基板支持棒へのインバー合金の使用により熱膨張の影響を抑え、ミクロンオーダーでの基板移動制御を可能とした。それと同時に、STM-フィラメント間にシャッターを設置してSTM部への熱的影響を最小限に抑えることにより、装置の作動城を従来のin-situナノプロセシング装置では不可能であったダイヤモンド堆積条件付近まで拡大した。また、ガス雰囲気中・低真空中におけるナノプロセシング用基板としてのHOPG基板使用の可能性を検討した。ダイヤモンドの堆積が確認され、CVD過程初期のナノメーターレベルでの微細構造観察に使用可能なことを確認した。以上の結果を基に、本装置の、ダイヤモンド薄膜合成などへ向けたCH_4-H_2系CVD初期過程のSTMによるsemi in-situ観察への応用を図った。フィラメント温度1500〜2000℃、圧力50Torr、水素希釈のメタン濃度1%、堆積時間10秒の条件により堆積前後のsemi in-situ観察を行った。現状では原子レベルの像はまだ得られていないものの、数nmを解像可能であり、CVD初期、程い適用可能な状態にある。これにより、ダイヤモンドナノグラフォエピタキシーへの応用が期待される。
期刊论文(4)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
寺嶋 和夫,吉田 豊信: "STMファミリーによる新しいナノプロセシングーファインマン機械(原子・分子マニピュレーター)を目指してー" 日本工業出版「新素材」. 3. 67-71 (1992)
Kazuo Terashima、Toyonobu Yoshida：“使用 STM 系列的新纳米处理 - 瞄准费曼机器（原子/分子操纵器）”Nippon Kogyo Shuppan“新材料”。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
第6回「大学と科学」公開シンポジウム組織委員会編: "講演集21世紀の材料科学 複合機能・高性能材料の新世界" クバプロ, 194 (1992)
第六届“大学与科学”公共研讨会组委会主编：《21世纪材料科学讲座集：复合功能高性能材料新世界》Kubapro，194（1992）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
新規プラズマスプレーによる遮熱ナノコーィング開発
  • 批准号：
    04F04105
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.54万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
立方晶窒化ホウ素のエピタキシャル成長を目指した新規プラズマプロセシング開発
  • 批准号：
    03F03055
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
立方晶窒化ホウ素のヘテロエピタキシャル成長を目指した新規プラズマプロセシング開発
  • 批准号：
    03F00055
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
プラズマ蒸発プロセシングにおける気相核生成及びクラスター生成の数値モデリング
  • 批准号：
    00F00086
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo