课题基金 / 基金详情

プラズマ環境AFMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

プラズマ環境AFMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用
等离子体环境AFM的发展及其在等离子体材料表面过程原子尺度控制中的应用
批准号：
10875125
负责人：
吉田 豊信
金额：
$1.34万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
1998
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1998 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10875125/
关键词：
プラズマ材料プロセシングプラズマSPMAFMナノインデンターcBN

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本研究では、世界に先駆け、(1) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発。(3) 上記装置を用い、シリコン(Si)およびSrTiO_3のプラズマ・エッチング/ポリッシングナノスケールその観察および制御を通じて、固体-プラズマ界面構造の原子オーダー制御への応用。を試み,従来成しえなかった"固体-プラズマ界面構造の原子オーダー計測/制御"を目指したものである。今年度の研究経過は以下のようである。(A) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発世界初のプラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(プラズマAFM)の開発を試みた。主な要素技術のうち、(1)AFMプローブ部。(2)プラズマ発生部。の完成はみたものの、(3)AFM本体のアセンブリーは今年度中には終了しなかった。一方、SPMのAFMの仲間である、プラズマ環境中で作動するSTMの高度化、STM/SNOM同時測定装置の開発を行った。(B) プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその観察/制御装置開発は完成には至ちなかったため、ex-situでプラズマスパッタリングで作製したcBN膜のAFMによる微細組織観察、微小領域での力学測定を行った。測定法の標準化に関する提案を行った。
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会议论文
新規プラズマスプレーによる遮熱ナノコーィング開発
  • 批准号：
    04F04105
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.54万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
立方晶窒化ホウ素のエピタキシャル成長を目指した新規プラズマプロセシング開発
  • 批准号：
    03F03055
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
立方晶窒化ホウ素のヘテロエピタキシャル成長を目指した新規プラズマプロセシング開発
  • 批准号：
    03F00055
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
プラズマ蒸発プロセシングにおける気相核生成及びクラスター生成の数値モデリング
  • 批准号：
    00F00086
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    吉田 豊信
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
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