プラズマ環境AFMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

等离子体环境AFM的发展及其在等离子体材料表面过程原子尺度控制中的应用

• 批准号: 10875125
• 负责人: 吉田 豊信
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10875125/
• 关键词: プラズマ材料プロセシング; プラズマ; SPM; AFM; ナノインデンター; cBN

本研究では、世界に先駆け、(1) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発。(3) 上記装置を用い、シリコン(Si)およびSrTiO_3のプラズマ・エッチング/ポリッシングナノスケールその観察および制御を通じて、固体-プラズマ界面構造の原子オーダー制御への応用。を試み,従来成しえなかった"固体-プラズマ界面構造の原子オーダー計測/制御"を目指したものである。今年度の研究経過は以下のようである。(A) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発世界初のプラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(プラズマAFM)の開発を試みた。主な要素技術のうち、(1)AFMプローブ部。(2)プラズマ発生部。の完成はみたものの、(3)AFM本体のアセンブリーは今年度中には終了しなかった。一方、SPMのAFMの仲間である、プラズマ環境中で作動するSTMの高度化、STM/SNOM同時測定装置の開発を行った。(B) プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその観察/制御装置開発は完成には至ちなかったため、ex-situでプラズマスパッタリングで作製したcBN膜のAFMによる微細組織観察、微小領域での力学測定を行った。測定法の標準化に関する提案を行った。

This research is the first of its kind in the world. (1) The development of an interatomic force micromirror (AFM) that operates in a human environment. (3) The device mentioned above is used for the purpose of the above device.ナノスケールその観看およびcontrol を通じて, solid-プラズマinterface structure のatomic オーダーcontrol への応用.をtestみ,従来成しえなかった"Solid-プラズマInterface structure のatomic オーダーmeasurement/control" したものである. This year's research results are as follows: (A) The action of the interatomic force micromirror (AFM) in the プラズマ environment is open in the world. Main element technology department, (1)AFM robot department. (2) Haruman Health Department. (3) AFM main body is completed this year. On the one hand, SPM's AFM's Nakama である, STM's advanced operation in the プラズマenvironment, and STM/SNOM simultaneous measurement equipment's kai 発を行った. (B)プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその禳超/Control device open and complete には to ちなかったため、ex-si TU でプラズマスパッタリングででしたcBN filmのAFMによるmicrostructure observation and micro-area mechanical measurementを行った. The standardization of the measurement method has been proposed and implemented.