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単一溶射粒子の変形・急冷凝固過程のその場計測

单喷射颗粒变形及快速凝固过程的原位测量

基本信息

批准号：
07219206
负责人：
吉田豊信
金额：
$ 1.6万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07219206/
关键词：
ハイブリッドプラズマ単一溶射粒子その場計測減圧溶射

项目摘要

100kW級ハイブリッドプラズマ溶射装置における単一溶射粒子の速度、粒径、及び基板衝突時の変形・急冷凝固過程をその場計測するために計測システムを開発した。2本の光ファイバーを用いてプラズマ中の溶融粒子が発する放射光を取り込み、電気信号に変換した後デジタルオシロスコープによりサンプリングを行なう。粒子速度、粒径は基板直上に設置した光ファイバーからの放射光の時間変化より算出し、温度は基板を視野に入れて設置した光ファイバーからの放射光を分光し強度の比より求める。減圧溶射時の粒子速度の計測を行なったところ、同一条件のもとで大気圧時の平均粒子速度が28m/sであるのに対し、250Torrでは100m/sと約4倍に増大するという結果が得られた。更に高周波入力をパラメータとして大気圧溶射における粒子速度及び凝固時間の計測を行なった結果、粒子速度に関しては高周波入力によらず平均40±5m/s程度であった。このことから本研究で用いるハイブリッドプラズマ溶射の場合、粒子速度は直流ジェットによって支配されるといえる。凝固時間に関しては、各々の条件において凝固過程を示さない粒子から約400μsに到る粒子まで存在し、その凝固時間は幅広く分布していることが判明した。しかしながら本研究により、分布が存在する溶射粒子の挙動を統計処理することが可能となったといえる。

100kW class Hazardous Spraying Device Spraying particle speed, particle size, and The deformation when the substrate collides with the rapid cooling and solidification process is measured in the field and measured in the field. 2 this light filter uses molten particles in the light filter to emit light , the electric signal is replaced by a new signal. Particle velocity, particle size, setting time directly above the substrate, calculation of the time change of the emitted light, and temperature The degree of the substrate and the field of view are set and the light is set and the intensity of the emitted light is spectroscopic and the intensity of the light is determined. Measurement of particle speed during reduced pressure spraying. The average particle speed under the same conditions under high pressure is 28m. /sであるのに対し、250Torrでは100m/sとapproximately 4 times the size of the result is the same. More high-frequency injection power and high-pressure injection, particle speed and solidification time measurement are carried out. As a result, the particle velocity is off and the high-frequency input force is about 40±5m/s on average. This study used the いるハイブリッドプラズマのfield Together, the particle speed is controlled by the direct current control system. The solidification time, each condition, the solidification process, and the particle size are about 400 The existence of particles in μs and the distribution of coagulation time and width are all clear. This study is based on the existence and distribution of the particles and the statistical processing of the particles. It is possible and possible.