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電子シャワー法による機能性薄膜の作製

电子喷淋法制备功能薄膜

基本信息

批准号：
04205122
负责人：
湯本久美
金额：
$ 0.77万
依托单位：
Tokyo University of Science
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04205122/
关键词：
電子シャワー ITO TiN 透明導電性膜剥離強度コーティング

项目摘要

1.電子シャワー法でステンレス基板上にAuを蒸着すると、電子ビーム法に比べ600倍以上の高剥離強度膜が得られた。このうち熱拡散による影響は全体の1/20であった。残り(19/20)は基板上の酸化クロムと化学結合し、酸化金(Au_2O)を形成するため、高剥離強度膜が得られた。つまり電子シャワーによる電子励起により、金の酸化が促進されることが分かった。2.透明導電性ITO薄膜の電気抵抗を決めるキャリヤー濃度は、Snのドナー量と酸素欠損量で決まる。しかし従来両者の割合を求める手段がなかった。我々はESCAを使って、初めから両者の割合を分離することに成功した。3.電子シャワー法でITO薄膜の電気抵抗が、1x10^<-5>Ωcmと従来より1桁低い膜が得られた。これは酸素欠損量が非常に多いためである事が分かった。しかし室温放置で酸素欠損量が減るため、10^<-3>Ωcmになってしまった。4.電子ビーム法に比べ電子シャワー法を用いると、TiNの耐摩耗強度は10倍程向上した。これは電子シャワーにより、窒化が促進したためである。しかしTiO_2も存在した。今後も真空容器をもっとクリーンにすることにより、更に耐摩耗性の高い膜が出来るものと期待される。

1. The high peeling strength film produced by the electronic steaming method is 600 times more than the high peel strength film that is steamed on the substrate using the electronic steaming method.このうち热拡Sanによる affects all の1/20であった. Residual acidified gold (19/20) is chemically bonded to the substrate, acidified gold (Au_2O) is formed, and a high peel strength film is obtained.つまり电シャワーによるelectron excited により, gold のacidification がpromote されることが分かった. 2. The electrical resistance of the transparent conductive ITO film depends on the concentration of the film, the amount of Sn and the amount of acid, and the amount of acid loss.しかし従来両者の合をquestめるmeansがなかった. I'm a ESCA person, and I'm a success in the separation of the first year of ESCA. 3. The electronic シャワー method is used for ITO film's electrical resistance, 1x10^<-5>Ωcm is used for 1x low film resistance. The amount of acid deficiency is very high and the amount of acid is too much. The amount of acetate lost when placed at room temperature is reduced by 10^<-3>Ωcm. 4. The wear resistance of TiN is 10 times higher than that of the electronic steel method.これは电シャワーにより, suffocation がstimulation したためである.しかしTiO_2も exists した. In the future, we are looking forward to the release of new vacuum container vacuum vessels and high wear-resistant membranes.