レーザーアブレーション超微粒子の時間分解レーザープラズマ軟X線分光
レーザーアブレーション超微粒子の時間分解レーザープラズマ軟X線分光
批准号:
05214202
负责人:
村上 浩一
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
1993
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1993 至 --
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本研究では、SiとCのレーザーアブレーション時のその場測定を0nsから120nsの範囲で試みてきた。その結果、この時間領域でおもに生成されているのは、Siに関してはSi原子と+イオンが、またCに関してはC原子と+、-のイオンが主であることが判明した。しかし、そのほかにもSiでは同定できなかったSiクラスターと思われるブロードな吸収線が見られ、一方、Cについても286eV付近にC_2またはC_3と思われる吸収線が観測された。そこで、高圧のHeガスのパルスをアブレーション粒子に吹き付け、超微粒子形成の促進を試み、吸収スペクトルの変化を調べた。その結果、Si表面から距離が1mmまでの領域では、ほとんどスペクトルに変化がみられなかった。即ち、超微粒子に対応した新しい吸収線は現れておらず、また前述のブロードな吸収線の増加も見られなかった。しかし、1、5mm以上離れた場所においては吸収スペクトルの変化が観測された。これは、Si粒子とHe原子の衝突過程でイオンの荷数が変化したものではなく、高圧のプルーム先端に押し集められたHeガスの高圧領域が発生し、その結果、プルームの膨張が押さえられ、Si原子と各Siイオンの空間分布が変化したためと考えられる。これらの結果より、超微粒子の形成は120nsまでの時間領域では起こっていないことが明らかになった。CのレーザーアブレーションとパルスHeガスの吹き付けの実験でも結果は同様である。以上の研究結果より、Heガス吹き付けを伴ったレーザーアブレーション時の超微粒子形成の動的過程を本実験手法で追跡するためには、数100nsから約1msの間の一層遅い時間領域を更に調べる必要があることが判明した。
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O.Yoda et al.: "A Laboratory Scale Apparctus for the Time-Resolved X-Ray Absorption Spectroscopy Using Laser Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.Suppl.32-2. 255-257 (1993)
O.Yoda 等人:“使用激光等离子体进行时间分辨 X 射线吸收光谱的实验室规模仪器”Jpn.J.Appl.Phys.Suppl.32-2。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
K.Murakami et al.: "Laser-Plasma Soft X-Ray Absorption Spectroscopy of Laser Ablated Si and C Particles" AIP Conf.Proc.288. 375-384 (1994)
K.Murakami 等人:“激光烧蚀硅和碳粒子的激光等离子体软 X 射线吸收光谱”AIP Conf.Proc.288。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
村上浩一: "非平衡ドーピングと半導体中不純物の準安定性" 固体物理. 特集号. 117-122 (1993)
Koichi Murakami:“半导体中杂质的非平衡掺杂和亚稳定性”固体物理学特刊 117-122 (1993)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
K.Murakami et al.: "Shallow Donor States in InP:ESR Induced Overhauser Shift" Materials Science Forum. 117/118. 369-374 (1993)
K.Murakami 等人:“InP 中的浅施主态:ESR 诱导的奥豪瑟转变”材料科学论坛。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
T.Ohyanagi et al.: "Time-and-Space Resolved X-ray Absorption Spectroscopy of Laser Ablated Si Particles" Jpn.J.Appl.Phys.(印刷中). (1994)
T.Ohyanagi 等人:“激光烧蚀硅粒子的时空分辨 X 射线吸收光谱”Jpn.J.Appl.Phys.(出版中)。
DOI:
--
发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
共 6 条
半導体結晶中の水素分子の制御と分子メモリー
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批准号:10875066
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项目类别:Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额:$1.28万
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财政年份:1998
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
光デバイスとしてサイズ選択したシリコンナノ微粒子薄膜のパルスレーザーを用いた堆積
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批准号:97F00502
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$0.77万
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财政年份:1998
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
時間分解測定によるシリコンクラスターの表面反応と光ルミネッセンス
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批准号:09216202
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1997
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究
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批准号:08230204
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.15万
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财政年份:1996
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究
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批准号:07240205
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.6万
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财政年份:1995
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
ウルソデオキシコール酸・亜鉛同時負荷による肝切除術の術前肝機能評価法の応用
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批准号:06770921
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1994
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
ヒトDHP-1分布と回腸潅流によるcarbapenem安定性に関する実験的研究
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批准号:05770881
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1993
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
レーザーアブレーション超微粒子のレーザープラズマ軟X線分光
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批准号:04230205
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.28万
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财政年份:1992
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
レ-ザ-アブレ-ション超微粒子のレ-ザ-プラズマ軟X線分光
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批准号:03246206
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.47万
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财政年份:1991
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
金属/シリコン界面の伝導電子プロ-ブによるシリコン内部からのESR評価
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批准号:02232208
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$0.77万
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财政年份:1990
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
金属/シリコン界面の伝導電子プロ-ブによるシリコン内部からのESR評価
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批准号:01650509
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1989
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
半導体の極微小領域におけるビーム・プロセス誘起欠陥の新検出方法
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批准号:59750005
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.64万
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财政年份:1984
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
レーザー・アニール時に於ける半導体格子温度の時間分解測定とその応用
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批准号:58550005
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额:$0.96万
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财政年份:1983
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
III-V族半導体におけるプロセス誘起欠陥の電子スピン共鳴法による新評価方法
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批准号:57750003
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1982
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
極短パルス・レーザー・アニールによる非晶質-結晶遷移の動的挙動
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批准号:X00210----575012
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.55万
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财政年份:1980
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
イオン注入半導体のレーザ・アニール(非晶質-結晶遷移過程の動的挙動に関する測定)
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批准号:X00210----475224
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1979
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负责人:村上 浩一
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依托单位: