レーザーアブレーション超微粒子のレーザープラズマ軟X線分光
レーザーアブレーション超微粒子のレーザープラズマ軟X線分光
批准号:
04230205
负责人:
村上 浩一
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
1992
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1992 至 --
中文摘要
新しく開発したレーザープラズマ軟X線分光法を用いて、レーザーアブレーションでパルス的に生成されたシリコン(Si)及びグラファイト(C)の超微粒子の電子状態と形態を調べた。特に、軟X線が11nsのパルス幅を有することを利用して、レーザーアブレーション後、0〜120nsの時間に於て、11nsの時間分解能で軟X吸収スペクトルの時間変化を測定した。一パル入当りのX線ホトン数がアブレーション粒子の存在する領域で10^<11>個と極めて高いため、単発測定で吸収スペクトルが得られた。Siについては、100eV附近のL吸収端に、Cについては280eV附近のK吸収端に着目して研究を進め、以下に示すような新しい結果が得られた。1.3〜20J/cm^2のレーザーエネルギー密度で、生成されるSiの超微粒子としては、Si原子,Si^<n+>(n=1,2,3,4)イオン,Siクラスター及び液体Siドロプレットが観測された。2.これ等の生成割合はエネルギー密度と時間に著しく依存している。3.本実験で初めて、Si原子及びSi^<n+>(n=1,2,3,4)イオンのL_<II,III>吸収端が実験で求められた。4.Siクラスターはエネルギー密度が大きく、時間遅れが大きい程、即ち、120nsで最も多量に発生していることが判明した。5.Cについてもレーザーエネルギー密度依存性があり、且つ、グラファイトのK吸収端によりエネルギーの低い所に新しい吸収ピーク(281eV)を見出した。6.Si,C共にターゲット表面から軟X線ビームのプローブ点を変化させ、空間分解測定が可能であることを示した。今後は、Heガスをパルス的に吹きつけ、クラスター化を促進させて、実験を進め、超微粒子の生成機構を明らかにする予定である。
英文摘要
新しく開発したレーザープラズマ軟X線分光法を用いて、レーザーアブレーションでパルス的に生成されたシリコン(Si)及びグラファイト(C)の超微粒子の電子状態と形態を調べた。特に、軟X線が11nsのパルス幅を有することを利用して、レーザーアブレーション後、0〜120nsの時間に於て、11nsの時間分解能で軟X吸収スペクトルの時間変化を測定した。一パル入当りのX線ホトン数がアブレーション粒子の存在する領域で10^<11>個と極めて高いため、単発測定で吸収スペクトルが得られた。Siについては、100eV附近のL吸収端に、Cについては280eV附近のK吸収端に着目して研究を進め、以下に示すような新しい結果が得られた。1.3〜20J/cm^2のレーザーエネルギー密度で、生成されるSiの超微粒子としては、Si原子,Si^<n+>(n=1,2,3,4)イオン,Siクラスター及び液体Siドロプレットが観測された。2.これ等の生成割合はエネルギー密度と時間に著しく依存している。3.本実験で初めて、Si原子及びSi^<n+>(n=1,2,3,4)イオンのL_<II,III>吸収端が実験で求められた。4.Siクラスターはエネルギー密度が大きく、時間遅れが大きい程、即ち、120nsで最も多量に発生していることが判明した。5.Cについてもレーザーエネルギー密度依存性があり、且つ、グラファイトのK吸収端によりエネルギーの低い所に新しい吸収ピーク(281eV)を見出した。6.Si,C共にターゲット表面から軟X線ビームのプローブ点を変化させ、空間分解測定が可能であることを示した。今後は、Heガスをパルス的に吹きつけ、クラスター化を促進させて、実験を進め、超微粒子の生成機構を明らかにする予定である。
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K.Murakami(Invited): "Dynamics and Control of Laser ablation of Oxede Superconductors and Semiconcluctors" Proc.Workshop ¨Dynamic Response of Materials to Pulsed Heating¨. (1993)
K.Murakami(特邀):“氧化超导体和半导体激光烧蚀的动力学和控制”Proc.Workshop“材料对脉冲加热的动态响应”(1993)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
K.Murakami(Invited): "Dynamics of Laser ablation of High TC Super-conductors and Semiconductors,and a New Method for Film Growth" European MRS Monographs. 4. 125-140 (1992)
K.Murakami(特邀):“高TC超导体和半导体的激光烧蚀动力学以及薄膜生长的新方法”欧洲MRS专着。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
K.Murakami,T.Ohyanagi,K.Hara,K.Masuda: "Shallow Donor States in InP-Electron-Spin-Resonance Indirced Overhauser Shift-" Materials Science Forum. 117-118. 369-371 (1993)
K.Murakami、T.Ohyanagi、K.Hara、K.Masuda:“InP 电子自旋共振诱导的奥豪瑟位移中的浅施主态”材料科学论坛。
DOI:
--
发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
A.Miyashita,O.Yoda,K.Murakami,T.Ohyanagi,S.Aoki,N.Yamaguchi: "Time-Resolued Soft X-Ray absorption Spectroscopy Apparatus Using Laser Produced Plasma X-Ray" Proc.Laser Advanced Materials Processing. 1029-1034 (1992)
A.Miyashita、O.Yoda、K.Murakami、T.Ohyanagi、S.Aoki、N.Yamaguchi:“使用激光产生等离子体 X 射线的时间分辨软 X 射线吸收光谱仪”Proc.激光先进材料加工。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
O.Yoda,A.Miyashita,K.Murakami,T.Ohyanagi,S.Aoki,N.Yamaguchi: "A haboratory Scale Apparatus for the Time-Resolved X-ray aksorption Spectroscopy using haser Plasmas" Proc.7th Intern-Cont,X-ray absorption Fine Structures. (1993)
O.Yoda,A.Miyashita,K.Murakami,T.Ohyanagi,S.Aoki,N.Yamaguchi:“使用 haser 等离子体进行时间分辨 X 射线吸收光谱的实验室规模装置”Proc.7th Intern-Cont,
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
共 6 条
光デバイスとしてサイズ選択したシリコンナノ微粒子薄膜のパルスレーザーを用いた堆積
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批准号:97F00502
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$0.77万
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财政年份:1998
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
半導体結晶中の水素分子の制御と分子メモリー
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批准号:10875066
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项目类别:Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额:$1.28万
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财政年份:1998
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
時間分解測定によるシリコンクラスターの表面反応と光ルミネッセンス
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批准号:09216202
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1997
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究
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批准号:08230204
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.15万
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财政年份:1996
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究
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批准号:07240205
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.6万
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财政年份:1995
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
ウルソデオキシコール酸・亜鉛同時負荷による肝切除術の術前肝機能評価法の応用
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批准号:06770921
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1994
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
ヒトDHP-1分布と回腸潅流によるcarbapenem安定性に関する実験的研究
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批准号:05770881
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1993
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
レーザーアブレーション超微粒子の時間分解レーザープラズマ軟X線分光
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批准号:05214202
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.28万
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财政年份:1993
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
レ-ザ-アブレ-ション超微粒子のレ-ザ-プラズマ軟X線分光
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批准号:03246206
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.47万
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财政年份:1991
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
金属/シリコン界面の伝導電子プロ-ブによるシリコン内部からのESR評価
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批准号:02232208
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$0.77万
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财政年份:1990
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
金属/シリコン界面の伝導電子プロ-ブによるシリコン内部からのESR評価
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批准号:01650509
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1989
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
半導体の極微小領域におけるビーム・プロセス誘起欠陥の新検出方法
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批准号:59750005
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.64万
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财政年份:1984
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
レーザー・アニール時に於ける半導体格子温度の時間分解測定とその応用
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批准号:58550005
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额:$0.96万
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财政年份:1983
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
III-V族半導体におけるプロセス誘起欠陥の電子スピン共鳴法による新評価方法
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批准号:57750003
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1982
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
極短パルス・レーザー・アニールによる非晶質-結晶遷移の動的挙動
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批准号:X00210----575012
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.55万
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财政年份:1980
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
イオン注入半導体のレーザ・アニール(非晶質-結晶遷移過程の動的挙動に関する測定)
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批准号:X00210----475224
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1979
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负责人:村上 浩一
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依托单位:
海外基金