等离子体过程氢自由基测量方法的建立及其在阐明化学反应过程中的应用-猫眼课题宝

等离子体过程氢自由基测量方法的建立及其在阐明化学反应过程中的应用

批准号：

05237225

负责人：

村岡克紀

金额：

$1.28万

依托单位：

Kyushu University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

财政年份：

1993

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

1993 至 --

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05237225/

关键词：

水素ラジカルレーザー蛍光法二光子励起 RF放電アモルファスシリコン

项目摘要

项目成果

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英文摘要

薄膜形成過程として代表的なプラズマCVDをとり挙げ,そこでの原子・分子過程中で特に水素ラジカルの検出法の確立とその化学反応過程解明への適用を目指して,(1)水素原子の密度,エネルギー分布の計測のために,(i)205nm二光子励起,(ii)(193+219nm)二光子励起,(iii)(193+195nm)二光子励起,の新しいレーザー分光法の検出下限,および相互の特徴,欠点を明らかにする研究を進める,(2)上記(i)を,サイレンガス中の放電で得られた水素ラジカル測定に適用する,の研究を行い,以下の結果を得た。(1)サイレンガス中の水素原子密度計測では,レーザー光によるサイレン分子の解離が無視できるレーザーエネルギーで計測する必要があり,単位レーザーエネルギーあたりの信号強度が最も大きい(i)の方法が最も適している.この方法による水素原子密度の検出下限は,(2)に示す実験で,7×10^<16>m^<-3>であった.(レーザーエネルギー1mJ,観測体積10×1×1mm^3,受光立体角6×10^<-2>sr)(2)容量結合型RF放電により,平行平板電極(直径100mm,電極間隔40mm)間に生成されたシランプラズマ(RFパワー密度0.6-2.5mW/mm^2,ガス圧力15-60mTorr)中の水素原子密度分布計測を行い,以下の結果を得た.(i)水素原子密度は,10^<19>-10^<20>m^<-3>であり,電極間分布は中心付近に極小値を持つ.(ii)水素原子密度の放電ガス圧力,RF電力依存性を求めた。(iii)水素原子密度と生成膜質との対比を求める方針を得た。

期刊论文(4)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

U Czarnetzki,K Miyazaki,T Kajiwara,K Muraoka,T Okada,M Maeda,A Suzuki and A Matsuda: "Two-Photon LIF-Measurements of Absolute Atomic Hydrogen Densities and Powder Formation in a Silane Discharge" Journal of Vacuum Science and Technology. (accepted for pub

U Czarnetzki、K Miyazaki、T Kajiwara、K Muraoka、T Okada、M Maeda、A Suzuki 和 A Matsuda：“双光子 LIF-硅烷放电中绝对原子氢密度和粉末形成的测量”真空科学与技术杂志

DOI： --

发表时间：

期刊：

影响因子： --

作者：

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