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レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定

レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定
使用激光荧光光谱法详细测量溅射粒子密度和速度分布函数
批准号：
61212019
负责人：
村岡 克紀
金额：
$1.6万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1986
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1986 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61212019/
关键词：
イオンビームスパッタリングレーザー螢光法放出角度分布エネルギー分布可変波長真空紫外

项目摘要

项目成果

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1.イオンビームによりスパッターされた粒子の放出角度分布、エネルギー分布をレーザー螢光法により詳細に測定した結果、以下の成果を得た。(1)放出角度分布 垂直に入射するイオンビームを低エネルギーから高エネルギーにしていくにつれて、余弦分布(入射ビームエネルギー1kev前後)からオーバー余弦(2kev程度以上)となることを示した。その原因をコンピュータシミュレーション結果と対比して考察し、低次反跳原子と表面散乱の競争で決まることを明らかにした(裏面第1文献に発表)。(2)エネルギー分布 酸化鉄から放出された鉄原子のエネルギー分布を本研究代表者のグループで開発した高速周波数掃引レーザーにより測定した結果、純鉄の表面結合エネルギー(4.3eV)より大きい(約10eV)トムソン分布で表されることを初めて明らかにした(第3文献に発表)。また、斜め入射のイオンビームによるスパッター鉄原子について、低次反跳原子に基づくエネルギー分布のトムソン分布からのずれを定量的に明らかにした(第5文献に発表)。また、以上(1),(2)の結果をまとめて、第4,第6文献に発表した。2.スパッタリングに利用するレーザー螢光法の適用範囲の拡大レーザー螢光法の適用範囲は、主として同調可能なレーザー光源により決定される。現在、水素、炭素や酸素等のスパッタリング粒子として重要な軽原子が測定出来ないのはそれらを検出するのに必要な真空紫外レーザーが存在しないからであるが、本研究では昨年に行った水素に同調できる第三高調波発生につづいて、今年度四波混合による光源の開発を行い、その可能性があることを示した(第2文献に発表)。また大出力レーザーによる二光子励起法を検討し、スパッタリング用粒子計測法として有効であることを初めて明らかにした。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
村岡克紀,前田三男,岡田龍雄,本田親久,梶原寿了,松田良信,赤崎正則: アイオニクス. 12. 6/11-6/17 (1986)
Katsunori Muraoka、Mitsuo Maeda、Tatsuo Okada、Chikahisa Honda、Toshiryo Kajiwara、Yoshinobu Matsuda、Masanori Akasaki：Ionics。12. 6/11-6/17 (1986)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y Matsuda;C Honda;M Maeda;T Okada;Y Yamamura;K Muraoka;M Akazaki: Journal of Nuclear Materials. 145&146. (1987)
Y Matsuda;C Honda;M Maeda;T Okada;Y Yamamura;K Muraoka;M Akazaki：核材料杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y Matsuda;Y Yamamura;Y Ueda;K Uchino;K Muraoka;M Maeda;M Akazaki: Japanese Journal of Applied Physics. 25. 8-11 (1986)
Y Matsuda;Y Yamamura;Y Ueda;K Uchino;K Muraoka;M Maeda;M Akazaki：日本应用物理学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
岡田龍雄,西尾文孝,荒木俊司,前田三男,村岡克紀,赤崎正則: レーザー研究. 14. 136-145 (1986)
Tatsuo Okada、Fumitaka Nishio、Shunji Araki、Mitsuo Maeda、Katsunori Muraoka、Masanori Akasaki：激光研究。14. 136-145 (1986)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    材料プロセスのための磁気中性線放電プラズマに関する研究
    • 批准号：
      98F00331
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $0.58万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      村岡 克紀
    • 依托单位：
      Kyushu University
    核反応プラズマの計測に関する調査研究
    • 批准号：
      05352028
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
    • 资助金额：
      $1.47万
    • 财政年份：
      1993
    • 负责人：
      村岡 克紀
    • 依托单位：
      Kyushu University
    プラズマプロセスにおける水素ラジカル計測法の確立とその化学反応過程解明への適用
    • 批准号：
      05237225
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $1.28万
    • 财政年份：
      1993
    • 负责人：
      村岡 克紀
    • 依托单位：
      Kyushu University
    高温プラズマ周辺部の水素原子密度および速度分布関数の計測法の開発
    • 批准号：
      03680014
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.28万
    • 财政年份：
      1991
    • 负责人：
      村岡 克紀
    • 依托单位：
      Kyushu University
    海外基金