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レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定

使用激光荧光光谱法详细测量溅射粒子密度和速度分布函数

基本信息

批准号：
61212019
负责人：
村岡克紀
金额：
$ 1.6万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1986
资助国家：
日本
起止时间：
1986 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

1.イオンビームによりスパッターされた粒子の放出角度分布、エネルギー分布をレーザー螢光法により詳細に測定した結果、以下の成果を得た。(1)放出角度分布垂直に入射するイオンビームを低エネルギーから高エネルギーにしていくにつれて、余弦分布(入射ビームエネルギー1kev前後)からオーバー余弦(2kev程度以上)となることを示した。その原因をコンピュータシミュレーション結果と対比して考察し、低次反跳原子と表面散乱の競争で決まることを明らかにした(裏面第1文献に発表)。(2)エネルギー分布酸化鉄から放出された鉄原子のエネルギー分布を本研究代表者のグループで開発した高速周波数掃引レーザーにより測定した結果、純鉄の表面結合エネルギー(4.3eV)より大きい(約10eV)トムソン分布で表されることを初めて明らかにした(第3文献に発表)。また、斜め入射のイオンビームによるスパッター鉄原子について、低次反跳原子に基づくエネルギー分布のトムソン分布からのずれを定量的に明らかにした(第5文献に発表)。また、以上(1),(2)の結果をまとめて、第4,第6文献に発表した。2.スパッタリングに利用するレーザー螢光法の適用範囲の拡大レーザー螢光法の適用範囲は、主として同調可能なレーザー光源により決定される。現在、水素、炭素や酸素等のスパッタリング粒子として重要な軽原子が測定出来ないのはそれらを検出するのに必要な真空紫外レーザーが存在しないからであるが、本研究では昨年に行った水素に同調できる第三高調波発生につづいて、今年度四波混合による光源の開発を行い、その可能性があることを示した(第2文献に発表)。また大出力レーザーによる二光子励起法を検討し、スパッタリング用粒子計測法として有効であることを初めて明らかにした。

1. The emission angle distribution of the particles and the emission angle distribution of the particles were measured in detail by fluorescence method. The following results were obtained. (1)Emission angle distribution Vertical incidence range from low to high, cosine distribution (around 1kev of incidence) range from low to cosine (above 2 kev) range The reasons for this phenomenon are discussed in detail in the first part of this paper. (2)The distribution of iron atoms in the surface of pure iron was determined by high frequency scanning. The surface binding energy (4.3 eV) of pure iron was determined by high frequency scanning (about 10eV). The basic distribution of atoms with low order rebound and oblique incidence is described in detail in the fifth paper. The results of (1) and (2) above are presented in the 4th and 6th references. 2. The application range of fluorescence method is determined according to the main coherence of fluorescence method. Now, the existence of vacuum ultraviolet radiation is necessary for the detection of important atoms such as water, carbon and acid. This study shows the possibility of the development of light sources in the third high-wavelength generation of water in the past year and the four-wave mixing in the present year (No. 2 document). The two-photon excitation method is used to measure the particle size of the sample.