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レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定

レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定
使用激光荧光光谱法详细测量溅射粒子密度和速度分布函数
批准号：
60220013
负责人：
村岡 克紀
金额：
$1.6万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1985
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1985 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-60220013/
关键词：
イオンビームスパッタリングレーザー螢光法放出角度分布エネルギー分布形成エネルギー可変波長真空紫外

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项目成果

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1.イオンビームによりスパッターされた粒子の放出角度分布、エネルギー分布を、レーザー螢光法を用いて詳細に測定した結果以下の成果を得た。(1)放出角度分布入射イオンビームのエネルギーが低い間は余弦分布に近い角度分布であるが、エネルギーが大きく(1KV以上)なると徐々にオーバー余弦分布になることを示した。その結果の解釈のために、スパッタリングシミュレーションコードACATで実験条件を模擬し、同様な傾向を得た。その結果、低エネルギー入射では低次反跳原子の寄与が大きいが、高エネルギーになるに従い表面散乱の効果でオーバー余弦となることが初めて明らかになった(下記文献(1)に発表)。(2)エネルギー分布空気中で酸化された鉄表面をイオンビームでスパッターしていくにつれて、放出粒子のエネルギー分布から求まる表面結合エネルギーが酸化鉄の形成エネルギー(約10eV)から純鉄のそれ(4.3eV)に近づくこと、その変化は表面層6層のスパッターにより起ることを初めて明らかにした。またこのエネルギー分布測定により形成エネルギー測定法とし得ることを示した(下記文献(2)に発表)。2.レーザー螢光法の適用領域の拡大レーザー螢光法の適用領域は、使用できる可変波長光源の制約から可視及び近紫外に限られてきたが、波長変換方式により真空紫外域にまで拡張できることを示した。すなわち、水素原子検出に必要な光源を第三高調波発生により完成し(下記文献(3)に発表)、水素原子の検出を行った(下記文献(4)に発表)。また炭素に同調できる光源についても四波混合により得見通しを得た(下記文献(5)に発表)
期刊论文(5)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Revew of Scientific Inctruments. 56-12. (1985)
科学仪器评论。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
レーザー研究. (1986)
激光研究（1986）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Japanese Journal of Applied Physics. 25-3. (1986)
日本应用物理学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Japanese Journal of Applied Physics. 24-7. (1985)
日本应用物理学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
材料プロセスのための磁気中性線放電プラズマに関する研究
  • 批准号：
    98F00331
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    村岡 克紀
  • 依托单位：
    Kyushu University
核反応プラズマの計測に関する調査研究
  • 批准号：
    05352028
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    村岡 克紀
  • 依托单位：
    Kyushu University
プラズマプロセスにおける水素ラジカル計測法の確立とその化学反応過程解明への適用
  • 批准号：
    05237225
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    村岡 克紀
  • 依托单位：
    Kyushu University
高温プラズマ周辺部の水素原子密度および速度分布関数の計測法の開発
  • 批准号：
    03680014
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1991
  • 负责人：
    村岡 克紀
  • 依托单位：
    Kyushu University
海外基金