课题基金 / 基金详情

表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製

表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製
用于表面超结构控制原子层外延的自由基的制备
批准号：
06228219
负责人：
松波 弘之
金额：
$1.28万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1994
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1994 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06228219/
关键词：
メゾスコピック構造ラジカル分子線エピタキシ-シリコンカーバイド表面超構造

项目摘要

项目成果

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本研究では、メゾスコピック構造を形成するために、半導体表面超構造の制御に有用な役割を果たすフリーラジカルの作製法を確立し、結晶成長過程を原子レベルで制御することを目指した。具体的には、立方晶シリコンカーバイドの結晶成長に着目し、1]フリーラジカル作製とその制御、2]表面超構造変化の動的解析、3]成長素過程の解明、の各研究課題を遂行した。本年度の成果は次の通りである。1.ガスソース分子線成長装置において、原料ガスを熱分解することによりフリーラジカルを生成した。しきい値イオン化質量分析法で定量的に解析すると同時に、その量を広い範囲で制御できることを明らかにした。2.Si表面の極薄SiC層形成過程(炭化過程)において、その膜厚とラジカル量が比例関係にあることを示した。表面状態は、ラジカル量、形成時間に依存することを明らかにし、平坦な表面が得られる条件を確立した。3.得られた鏡面SiC層上への単結晶SiCのヘテロエピタキシャル成長において、原料流量の最適化により原子層レベルで平坦な成長層が得られた。成長中の表面超構造と結晶成長過程との関連について検討し、二次元成長が支配的であることを明らかにするとともに、原子層レベルでの成長制御の可能性を示した。以上の成果により所期の目的は達成できた。得られた成長層の結晶性の詳細な評価や、異なったラジカル種の適用が、今後、必要であると考えられる。
期刊论文(4)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
H.Matsunami: "Controlled carbonization of Si(100) surface using hydrocarbon radicals in ultrahigh vacuum" Journal of Crystal Growth. 136. 333-336 (1994)
H.Matsunami：“在超高真空中使用烃基控制 Si(100) 表面的碳化”《晶体生长杂志》。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Fuyuki: "Low-temperature heterepoitaxial growth of cubic SiC on Si using hydrocarbon radicals by gas source molecular beam epitaxy" Workbook on 8th International Conference on Molecular Beam Epitaxy. 21-22 (1994)
T.Fuyuki：“通过气源分子束外延利用烃基在硅上低温异质生长立方碳化硅”第八届国际分子束外延会议工作手册。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
高効率パワーデバイス用シリコンカーバイドの高品位結晶成長と物性制御
  • 批准号：
    09044156
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for international Scientific Research
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    松波 弘之
  • 依托单位：
    Kyoto University
表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製
  • 批准号：
    07217212
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.02万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    松波 弘之
  • 依托单位：
    Kyoto University
表面超構造制御原子層エピタキシーのためのフリーラジカルの作製
  • 批准号：
    05237220
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.66万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    松波 弘之
  • 依托单位：
    Kyoto University
反応過程の制御
  • 批准号：
    04223105
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $19.97万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    松波 弘之
  • 依托单位：
    Kyoto University
海外基金