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高効率パワーデバイス用シリコンカーバイドの高品位結晶成長と物性制御

高効率パワーデバイス用シリコンカーバイドの高品位結晶成長と物性制御
高效功率器件用碳化硅的高质量晶体生长和物性控制
批准号:
09044156
负责人:
松波 弘之
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for international Scientific Research
财政年份:
1997
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1997 至 --
关键词:

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表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製
  • 批准号:
    07217212
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.02万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位:
表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製
  • 批准号:
    06228219
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位:
表面超構造制御原子層エピタキシーのためのフリーラジカルの作製
  • 批准号:
    05237220
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.66万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位:
反応過程の制御
  • 批准号:
    04223105
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $19.97万
  • 财政年份:
    1992
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位: