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Development of a New Micro-Nano Solid Processing Technology Based on a LIGA Process and a Next-Generation Micro Actuators

基于LIGA工艺和下一代微执行器的新型微纳固体加工技术的开发

基本信息

批准号：
16078212
负责人：
HATTORI Tadashi
金额：
$ 43.58万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,リソグラフィ,金型作製,成形を一連とするLIGAプロセスを基盤としたマイクロ・ナノ立体加工技術の開発と,次世代マイクロアクチュエータへの展開を行うものである.従来のリソグラフィ技術では加工深さ方向に垂直となる2.5次元的な構造体しか得られていなかった.しかし,このトータルLIGAプロセスによる加工技術は,機械加工等では達成できない微細領域の加工を可能とする手法であり,超微細立体加工技術のブレイクスルーを生み出す要素技術である.これまでに,3次元X線リソグラフィ技術,平坦性が良く応力の小さなマイクロ金型,ロールホットエンボス技術による微細パターンの量産化技術の開発を進め,精密で高精度な成形品を量産できる技術開発を進めてきた.さらに,X線リソグラフィにおける露光ステージを多軸化することで円筒形状表面に3次元構造を加工する技術を開発し,微細細線となるマイクロコイルの作製へ展開してきた.構造の複雑さ故に小型化に伴い得られる出力が低下する問題を有するマイクロコイルであるが,微細高アスペクト比の細線構造としたマイクロコイルを利用することを提案し,電磁型マイクロアクチュエータのブレイクスルーを目指して研究に取り組んだ.その結果,X線リソグラフィ技術により微細細線の深溝加工を行い,銅めっきにてコイルラインを形成して,コイルを完成させることが出来た.作製したコイルラインのアスペクト比を向上させるとマイクロコイルの性能は飛躍的に向上することも実証した.今後は更なるプロセス技術開発を進めることでマイクロアクチュエータの新たな展開を行う.

This study is aimed at the development of three-dimensional processing technology for the next generation of LIGA. The new technology is to process structures of 2.5-D in the vertical direction. The processing technology of this kind of LIGA can be realized by machining, etc. The processing technology of ultra-fine three-dimensional processing technology can be realized by machining. 3D X-ray technology, flatness, good strength, small size, metal type, high-precision, high-precision, high-precision molded products, mass production technology development. The X-ray diffraction technique is developed by multi-axis diffraction and three-dimensional surface diffraction. The structure of the complex is small, so the output is low. The structure of the fine wire with high speed is proposed. The electromagnetic type is selected. As a result, X-ray technology is used to form micro-fine lines and deep grooves, and copper is used to form micro-fine lines and complete micro-fine lines. For example, if you want to improve your performance, you can do so. In the future, the development of new technologies will be carried out.