液滴ターゲットを用いたレーザーマイクロプラズマの高効率生成とプラズマ診断

使用液滴靶高效生成激光微等离子体和等离子体诊断

• 批准号: 18030015
• 负责人: 東口 武史
• 金额: $ 2.82万
• 依托单位: Utsunomiya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2007
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18030015/
• 关键词: マイクロプラズマ; レーザー; 液滴; 診断; レーザープラズマ; 液滴ターゲット; プラズマ診断

本研究では,(1)ナノ秒二重パルスレーザー生成マイクロプラズマから発生するEUV光の高効率発生および高速イオンのエネルギースペクトル制御の可能性を示した.質量制限型レーザー生成マイクロプラズマを用いて,応用への有効性が高いEUV光源の最適化に関する研究を進めた.EUV光源の高効率化とデブリの抑制を同時に満たすレーザーおよびマイクロプラズマの最適パラメータが明らかになった.ダブルパルス照射時には,高速イオンのイオン種,価数,エネルギー,イオン信号が減少し,Sn^+イオンのみが観測された.最大イオン信号となるエネルギーは3.5keV,イオン信号は1/4に減少した.これは,プラズマの電子密度勾配や電子温度が制御されたことを意味しており,干渉法や分光法によるプラズマ診断の結果とも整合している.超短パルス高強度レーザーの相互作用長を長尺化させるデバイスとしてのキャピラリー放電生成プラズマチャネルを提案し,プラズマ診断を行った.レーザー干渉計により電子密度を計測し,10^<17>cm^<-3>程度のプラズマが生成されることが観測された.また中心軸上で低密度の電子密度分布を生成できた.電子密度計測に加えて,時間分解された電子温度も評価した.このことにより,プラズマチャネルのダイナミクスを明らかにすることができたと考えている.

This study demonstrates the possibility of high efficiency generation of EUV light and high speed generation of EUV light. Quality control and optimization of high efficiency EUV light source. When irradiated, high speed, high The maximum signal is 3.5keV, and the maximum signal is 1/4 times smaller. The electron density of the sample is correlated with the electron temperature, and the results of the dry spectroscopy are integrated. The interaction length of ultra-short-range high-intensity laser is long. The electron density was measured at the level of 10 <17>cm<-3>. The electron density distribution of low density on the central axis is generated. Electron density measurements are performed, time resolved, and electron temperature measurements are performed. This is the first time I've ever seen a woman who's had sex with someone else.

项目成果

Enhancement of extreme ultraviolet emission from a lithium plasma by use of dual laser pulses

• DOI: 10.1117/12.739115
• 发表时间: 2006-04
• 作者: T. Higashiguchi;K. Kawasaki;Yusuke Senba;S. Suetake;M. Katto;S. Kubodera

Efficient extreme ultraviolet plasma source generated by a CO_2 laser and a liquid xenon microjet target

由CO_2激光器和液氙微射流靶产生的高效极紫外等离子体源

• 发表时间: 2007
• 期刊: Applied Physics Letters 90
• 作者: Yoshifumi Ueno;et. al.
• 通讯作者: et. al.

Development of a liquid tin microjet target for an efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet source

开发用于高效激光产生等离子体极紫外源的液态锡微射流靶

• 发表时间: 2007
• 期刊: Review of Scientific Instruments 78
• 作者: Yoshifumi Ueno;et. al.;T.Higashiguchi et al.
• 通讯作者: T.Higashiguchi et al.

Extreme ultraviolet emission characteristics of a laser-produced Li plasma

激光产生的锂等离子体的极紫外发射特性

• 发表时间: 2006
• 期刊: IPAP Conference Series 7
• 作者: 東口 武史;窪寺 昌一;T.Higashiguchi et al.;T.Higashiguchi et al.;T.Higashiguchi et al.;T.Higashiguchi et al.
• 通讯作者: T.Higashiguchi et al.

Enhancement of extreme ultraviolet emission from a CO2 laser-produced Sn plasma using a cavity target

• DOI: 10.1063/1.2820451
• 发表时间: 2007-12
• 期刊: Applied Physics Letters
• 影响因子: 4
• 作者: Y. Ueno;G. Soumagne;A. Sumitani;A. Endo;T. Higashiguchi