冷却固化したターゲットによる次世代リソグラフィー用卓上型高強度X線光源の開発

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平成14年度-平成16年度に受領した科研費:若手研究(B)「冷却固化したターゲットによる次世代リソグラフィー用卓上型高強度X線光源の開発」によって,希ガスクライオターゲットからの軟X線および高速粒子の発生特性を明らかにした.また,液体ジェットターゲットを開発することによって,直径10-100μmのターゲットを真空中に生成し,高繰返し実験を可能とすることによって,データの蓄積を図ってきた.その結果,液体ジェットターゲットとレーザーのエネルギー空間結合,ダブルパルスによるプラズマの能動的制御,水溶液方式の有用性などを示した.これまでに行われた研究によって得られた結果は,以下のように要約される.(1)希ガスクライオターゲットからの軟X線変換効率の相似則を明らかにした(SPIE,APB).(2)高速イオン数のエネルギーはkeVであり,cos^<3-5>θの角度分布であることを明らかにした(JJAP).(3)液体ジェットターゲットを開発し,レーザー照射による軟X線発生実験により,プラズマ膨張径とレーザー集光径の整合による高効率化を明らかにした(SPIE, APB, Rev.Laser Eng.).(4)ナノ秒およびフェムト秒のプリパルスによるプラズマ密度勾配制御を行い,軟X線の高効率化発生機構の基礎特性を明らかにした(SPIE, APB, PRE(投稿中)).(5)高繰返し実験に対応すべく,高速供給が可能な液滴ターゲットを開発した.(6)レーザー干渉法によるプラズマ密度計測実験を実施し,プラズマの膨張速度を観測した.これらの成果は,研究業績にあるように論文として発表した.