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液体ターゲットによる数十ミクロン径レーザーマイクロプラズマの生成とイオン発生

使用液体靶产生直径数十微米的激光微等离子体和离子产生

基本信息

批准号：
16040215
负责人：
東口武史
金额：
$ 4.1万
依托单位：
University of Miyazaki
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

筐体壁面などとの相互作用を無視できる真空中(自由空間中)に液滴ターゲットを生成した.この液滴ターゲットを用いて,レ-ザーマイクロプラズマを生成し,レーザーエネルギー注入とイオン発生の実験を進めた.二重パルス法を確立し,広範なレーザーパラメータで実験を行ってきた.液体マイクロターゲットを用いたレーザー生成マイクロプラズマからのイオン発生およびフェムト秒からナノ秒までの広範な時間パラメータ領域でのレーザーエネルギー注入(吸収)に関する実験的研究を行った.また,「みる」班との共同研究により,一流体二温度モデルによる流体シミュレーションとの比較を行った(Applied Physics Lettersに共著掲載された).ナノ秒レーザー生成マイクロプラズマからの高速イオンのエネルギー分布や放射角度分布を観測した.プリプラズマの有無により,高速イオンの角度分布が狭くなると同時に,イオン電流が減少することが明らかになった.液滴ターゲットを用いたマイクロプラズマの電子密度,電子温度などの基礎パラメータを計測,診断することは重要である.レーザー干渉法によるプラズマ密度計測の準備を終え,予備実験によりプラズマ密度とプラズマ膨張速度の評価を行う環境を整えた.また,軟X線分光により液滴(典型的には水媒質)マイクロプラズマの電子温度の評価も行えるようになった.イオン速度と電子温度との相関が明らかになりつつある.このようなマイクロプラズマの実用的応用として,次世代半導体リソグラフィー露光機としての極端紫外光源の高効率化に大きく貢献できると考えている.このような極端紫外光の高効率発生のために,レーザーパラメータとプラズマパラメータの最適化を推進している.

The interaction between the wall and the surface of the enclosure is ignored. In vacuum (free space), droplets are generated. The liquid drops are used in the middle, and the liquid drops are used in the middle, and the liquid drops are used in the middle. The double method is established, and the range is determined. The research of liquid injection (absorption) is carried out. A comparison of fluid temperature and fluid temperature in a joint study of "Applied Physics letters"(co-authored by Applied Physics Letters). The distribution of radiation angle is measured. The angle distribution of high speed and high speed is narrow, and the current is reduced. Liquid droplets are used to measure electron density, electron temperature, basic parameters, and diagnosis. The preparation of density measurement is completed, and the preparation of density measurement is completed. Soft X-ray spectroscopy for liquid droplets (typical aqueous medium) The velocity and electron temperature are correlated. The next generation semiconductor solutions for high efficiency of extreme ultraviolet light sources contribute greatly to the development of practical applications. The high efficiency emission of extreme ultraviolet light is optimized.

项目成果

期刊论文数量（28）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Parametric optimization of a narrow band 13.5nm emission from a Li-based liquid jet target using dual nano-second laser pulses

使用双纳秒激光脉冲对锂基液体射流目标的窄带 13.5 nm 发射进行参数优化

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Applied Physics B (Rapid Communication) (accepted)
影响因子：
0
作者：
C.Rajiyaguru;T.Higashiguchi et al.
通讯作者：
T.Higashiguchi et al.

Efficient soft x-ray emission source at 13.5 nm by use of a femtosecond-laser-produced Li-based microplasma

使用飞秒激光产生的锂基微等离子体实现 13.5 nm 的高效软 X 射线发射源

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Applied Physics Letters Vol.86
影响因子：
0
作者：
C.Rajyaguru;T.Higashiguchi et al.;T.Higashiguchi et al.
通讯作者：
T.Higashiguchi et al.

Enhancement of extreme ultraviolet emission from a laser-produced-lithium plasma by use of dual laser pulses

使用双激光脉冲增强激光产生的锂等离子体的极紫外发射

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Conference Digest of Conference on CLEO EUROPE 2005 Vol.29B
影响因子：
0
作者：
C.Rajyaguru;T.Higashiguchi et al.;T.Higashiguchi et al.;T.Higashiguchi et al.
通讯作者：
T.Higashiguchi et al.

水ジェットターゲットを用いたレーザー生成プラズマからの極端紫外光発生特性

使用水射流靶材激光等离子体产生极紫外光的特性