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Development of Nano-G Detection Method using Electroplated Au-Alloy with Controlled Crystal Structure

Development of Nano-G Detection Method using Electroplated Au-Alloy with Controlled Crystal Structure
晶体结构可控电镀金合金纳米G检测方法的开发
批准号：
15K17453
负责人：
Yamane Daisuke
金额：
$2.75万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15K17453/
关键词：
ナノG加速度MEMSナノマイクロセンサ金金合金結晶金めっきナノ結晶電解めっき加速度センサノイズカンチレバー電解金めっきパルス金めっき

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Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices
纯金悬臂梁在 MEMS 器件中作为可移动组件应用的微弯曲测试
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone]
通讯作者： Masato Sone
Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide
超临界二氧化碳电镀金膜机械性能的增强
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone]
通讯作者： Masato Sone
Micro-Mechanical Property Enhancement of Metals Electroplated in Electrolyte Containing Supercritical CO2
含超临界 CO2 电解液中电镀金属微观机械性能的增强
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone]
通讯作者： Masato Sone
微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価
使用微弯曲测试评估镀金微悬臂梁的机械性能
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [浅野啓介, Tang Hao-Chun, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志]
通讯作者： 名越貴志
共 171 条
    Development of MEMS Self-Destruction Design Technology for Secure IoT Devices
    国内基金
    海外基金
    绝缘体辐射诱导电荷致工作态三明治式MEMS加速度计敏感结构非单向性损伤机制研究
    零刚度MEMS加速度敏感元件及其高精度三轴加速度传感技术研究
    • 批准号：
      62374145
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      48.00万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      马志鹏
    • 依托单位：
      浙江大学
    柔性MEMS谐振式加速度计的共形设计与热弹性耦合动力学分析
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      青年科学基金项目
    • 资助金额：
      30万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      林晨
    • 依托单位：
      清华大学
    基于全固态光冷MEMS系统的加速度精密测量研究
    • 批准号：
      U2130117
    • 项目类别：
      联合基金项目
    • 资助金额：
      49.0万元
    • 批准年份：
      2021
    • 负责人：
      付号
    • 依托单位：
      海南大学