Atomare Prozesse beim homoepitaktischen Schichtwachstum unter extremen Nichtgleichgewichtsbedingungen

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Im Rahmen des hier vorgeschlagenen Forschungsprogramms sollen bisher ungelöste Fragen im Verständnis des homoepitaktischen Wachstums von Metallen untersucht werden. Das Hauptziel des Forschungsprogrammes ist es dabei, ein Verständnis der Kinetik des homoepitaktischen Schichtwachstums unter extremen Nichtgleichgewichtsbedingungen auf Basis atomarer Prozesse zu erzielen. Solche extremen Nichtgleichgewichtsbedingungen sind beispielsweise sehr hohe Depositionsraten, sehr tiefe Substrattemperaturen oder Wachstum unter Zufuhr von Teilchen hyperthermischer Energie. Unter solchen Wachstumsbedingungen lassen sich qualitativ neue Phänomene erwarten. Aus der Entschlüsselung solcher Phänomene auf Basis der atomaren Wachstumsprozesse läßt sich ein vertieftes Verständnis der theoretischen Konzepte zur Beschreibung des Schichtwachstums gewinnen. Wachstumssituationen extrem weit weg vom Gleichgewicht sind insbesondere unter industriellen Beschichtungsbedingungen oft anzutreffen (hohe Abscheideraten, Abscheidung unter Einfluß zusätzlicher Energie). Daher kann von dem geplanten Forschungsvorhaben auch ein Beitrag zum Verständnis grundlegender Aspekte technischer Beschichtungsprozesse erhofft werden.