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InPのプラズマ酸化膜形成と界面の電子的性質の研究

InPのプラズマ酸化膜形成と界面の電子的性質の研究
InP等离子体氧化膜形成及界面电子特性研究
批准号:
56550014
负责人:
松波 弘之
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份:
1981
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1981 至 --
关键词:

项目摘要

项目成果

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高効率パワーデバイス用シリコンカーバイドの高品位結晶成長と物性制御
  • 批准号:
    09044156
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for international Scientific Research
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1997
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位:
表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製
  • 批准号:
    07217212
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.02万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位:
表面超構造制御原子層エピタキシ-のためのフリーラジカルの作製
  • 批准号:
    06228219
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位:
表面超構造制御原子層エピタキシーのためのフリーラジカルの作製
  • 批准号:
    05237220
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.66万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    松波 弘之
  • 依托单位: