Development of a nano mechanical sensor for gas molecule detection at low density by hybrid structure fabrication technique
Development of a nano mechanical sensor for gas molecule detection at low density by hybrid structure fabrication technique
利用混合结构制造技术开发用于低密度气体分子检测的纳米机械传感器
批准号：
25289011
负责人：
WARISAWA Shin'ichi
金额：
$11.98万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
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FIB/EB 複合リソグラフィーにより作製したカーボンナノ振動子の特性評価
FIB/EB组合光刻法制备碳纳米振荡器的特性评估
FIB/EB组合光刻法制备碳纳米振荡器的特性评估
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[大高理, 船守展正（編）, M. Kawai and Y. Ishizuka, 宮田 雄斗，割澤 伸一，石原 直，米谷 玲皇]
通讯作者：
宮田 雄斗，割澤 伸一，石原 直，米谷 玲皇
Source gas distribution measurement in focused-ion-beam chemical vapor deposition using graphene sensing device
使用石墨烯传感装置测量聚焦离子束化学气相沉积中的源气体分布
使用石墨烯传感装置测量聚焦离子束化学气相沉积中的源气体分布
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Shin'ichi Warisawa, Si Chen, Takahito Ono, Ichiro Yamada, Sunao Ishihara and Reo Kometani]
通讯作者：
Sunao Ishihara and Reo Kometani
Characterizations of the carbon nanomechanical resonator fabricated from SU-8 by FIB/EB dual beam lithography
FIB/EB 双束光刻法制备 SU-8 碳纳米机械谐振器的表征
FIB/EB 双束光刻法制备 SU-8 碳纳米机械谐振器的表征
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Yuto Miyata, Shin’ichi Warisawa, Sunao Ishihara, Reo Kometani]
通讯作者：
Reo Kometani
Research on quantum behavior of a nanomechanical resonator
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批准号：22656035
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.33万
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财政年份：2010
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负责人：WARISAWA Shin'ichi
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依托单位：
Geometry generation of minute three-dimensional structure in wide scale range by means of water jet and focused ion beam
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批准号：13305012
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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资助金额：$5.24万
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财政年份：2001
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负责人：WARISAWA Shin'ichi
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依托单位：
海外基金
