Anwendungsspezifischer Einsatz von 3D-Replikationstechniken

Die Verringerung lateraler struckturabmessungen and Die damit verbundene Erhöhung der packungsdichde von Funktionselementen sowie steigende Anforderungen and Die Formgenauigkeit be3delementen lassen speziell aufden Gebieten microelektronik, optoktronik and microoptik den technology and finanziellen Aufwand fgr Primär-Strukturierungsprozesse enorm ansteigen。模具非均质化技术：1 .模具非均质化技术；2 .模具非均质化技术；2 .模具非均质化技术；2 .模具非均质化技术；2 .模具非均质化技术；2 .模具非均质化技术；Glattheit und Homogenität oberflächennaher Bereiche)也可以和Abformmaterial und den Replikationsprozeß selbst extreme Ziel dieses Teilprojektes ist es， unter Verwendung speziell präparierter Master (Teilprojekte Service, TP2) grundproblem der replicationen definierten Größen- bzw。Genauigkeitsbereich under Verwendung strahlenhärtbarer聚合体（丙烯酸酯-/共聚物-基）的结构，die Ergebnisse mit denen der Heißprägung bebem合作伙伴BUGH的结构和结构（Master-Oberflächeneigenschaften，材料-和proze参数，Anforderungen和replikationsorrichtungen）技术复制(z.B. die Nachbildung der bekannten Haifischhaut- bzw。abzuleiten Lotosbluten-Strukturen)。

Die Verringerung lateraler Strukturabmessungen und die damit verbundene Erhöhung der Packungsdichte von Funktionselementen sowie steigende Anforderungen an die Formgenauigkeit bei 3DElementen lassen speziell auf den Gebieten Mikroelektronik, Optoelektronik und Mikrooptik den technischen und finanziellen Aufwand für Primär-Strukturierungsprozesse enorm ansteigen. Die umfassende technische Nutzung setzt deshalb i.a. entweder einen hohen Grad an Parallelbearbeitung bei der Strukturgenerierung oder die reproduzierbare, hochgenaue Replizierbarkeit komplexer Primärstrukturen Bei kleinsten Strukturbreiten unter 100 nm und geforderten Tiefengenauigkeiten (im homogenen Material) besser als 10 nm werden sowohl an den Ausgangszustand des "Masters" (Formgenauigkeit und -beständigkeit, Glattheit und Homogenität oberflächennaher Bereiche) als auch an das Abformmaterial und den Replikationsprozeß selbst extreme Ziel dieses Teilprojektes ist es, unter Verwendung speziell präparierter Master (Teilprojekte Service, TP2) Grundprobleme der Replikation im oben definierten Größen- bzw. Genauigkeitsbereich unter Verwendung strahlenhärtbarer Polymerer auf Acrylat-/Epoxid-Basis zu untersuchen, die Ergebnisse mit denen der Heißprägung beim Kooperationspartner BUGH zu vergleichen und daraus Mindestforderungen (Master-Oberflächeneigenschaften, Material- und Prozeßparameter, Anforderungen an Replikationsvorrichtungen) für technische Replikationsprozesse (z.B. die Nachbildung der bekannten Haifischhaut- bzw. Lotosblüten-Strukturen) abzuleiten.