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Maschinenentwicklung zur spanenden Herstellung von Mikrostrukturen

用于微结构加工生产的机器开发

基本信息

批准号：
5276366
负责人：
Professor Dr.-Ing. Manfred Weck
金额：
--
依托单位：
Werkzeugmaschinenlabor - WZL
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
1996
资助国家：
德国
起止时间：
1995-12-31 至 2000-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5276366?language=en
关键词：
Maschinenentwicklung zur spanenden Herstellung von

项目摘要

Um die Genauigkeit bei der Herstellung von Mikrokomponenten weiter entscheidend zu verbessern, sind grundlegende Forschungen im Werkzeugsystembereich notwendig. Ein Ziel des geplanten Projektes ist daher der Aufbau und die Optimierung von Werkzeugen, welche speziell an die Anforderungen der Mikrotechnik angepaßt sind. Zusätzlich muß die genaue Lage des Werkzeuges relativ zum Werkstück und die exakte Geometrie der Schneide bestimmt werden. Für diese wichtige und qualitätsbestimmende Problemstellung der spanenden Mikrofertigung existieren derzeit nur unzureichende Teillösungen. Daher sollen geeignete berührungslose Meßsysteme konzipiert und aufgebaut werden, die mit Hilfe spezieller Algorithmen eine präzise Kontur- und Lagebestimmung von Werkzeug und Werkstück ermöglichen. Weiterhin wird eine Zustelleinheit mit Servoantrieben aufgebaut, die auf Basis der Meßergebnisse eine automatisierte Kompensation der Werkzeug- und Werkstücklage erlaubt. Abschließend ist die Integration der realisierten Komponenten in eine Mikrobearbeitungsmaschine vorgesehen. Die Untersuchungen des Gesamtsystems anhand von Bearbeitungsversuchen sollen Rückschlüsse über die Potentiale und Grenzen der spanenden Fertigung von Mikrokomponenten ermöglichen.

在Mikrokomponenten的Herstellung的Genauigkeit weiter entscheiden zu verbessern，sind grundeful de Forschungen im Werkzeugsystembereich.一个项目的总体规划是建造和优化工作的一个重要方面，这也是微技术发展的一个重要方面。Zusätzlich much known die genaue拉格des Werkzeuges relativ zum Werkstück and die exakte Geometrie der Schneide bestimmt韦尔登. Für diese wichtige und qualitätsbestimmende Problemstellung der spanenden Mikrofertigung Schueren derzeit努尔unzureichende Teillösungen. Daher sollen geeignete berührungslose Meßsysteme konzipiert und aufgebaut韦尔登，die mit Hilfe spezieller spezieller提供一个präzise Kontur- und Lagebestimmung von Werkzeug und Werkstück ermöglichen。Weiterhin wird eine Zustelleinheit mit Servoantrieben aufgebaut，die auf Basis der Meßergebnisse eine automatisierte Kompensation der Werkzeug- und Werkstücklage erlaubt. Abschließend is die Integration der realisierten Komponenten in eine Mikrobearbeitungsmaschine vorgesehen. Die Untersuchungen des Gesamtsystems anhand von Bearbeitungsversuchen sollen Rückschlüsse über die Potentiale und Grenzen der spanenden Fertigung von Mikrokomponenten ermöglichen.