Maschinenentwicklung zur spanenden Herstellung von Mikrostrukturen

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Um die Genauigkeit bei der Herstellung von Mikrokomponenten weiter entscheidend zu verbessern, sind grundlegende Forschungen im Werkzeugsystembereich notwendig. Ein Ziel des geplanten Projektes ist daher der Aufbau und die Optimierung von Werkzeugen, welche speziell an die Anforderungen der Mikrotechnik angepaßt sind. Zusätzlich muß die genaue Lage des Werkzeuges relativ zum Werkstück und die exakte Geometrie der Schneide bestimmt werden. Für diese wichtige und qualitätsbestimmende Problemstellung der spanenden Mikrofertigung existieren derzeit nur unzureichende Teillösungen. Daher sollen geeignete berührungslose Meßsysteme konzipiert und aufgebaut werden, die mit Hilfe spezieller Algorithmen eine präzise Kontur- und Lagebestimmung von Werkzeug und Werkstück ermöglichen. Weiterhin wird eine Zustelleinheit mit Servoantrieben aufgebaut, die auf Basis der Meßergebnisse eine automatisierte Kompensation der Werkzeug- und Werkstücklage erlaubt. Abschließend ist die Integration der realisierten Komponenten in eine Mikrobearbeitungsmaschine vorgesehen. Die Untersuchungen des Gesamtsystems anhand von Bearbeitungsversuchen sollen Rückschlüsse über die Potentiale und Grenzen der spanenden Fertigung von Mikrokomponenten ermöglichen.