Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren
有机金属前驱体化学气相沉积薄银层
基本信息
- 批准号:5313466
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Priority Programmes
- 财政年份:2001
- 资助国家:德国
- 起止时间:2000-12-31 至 2004-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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