Abscheidung von Metallen (Mn/Fe/Ni) aus der Gasphase: Der chemisch kontrollierte Abscheidungsprozess und Messung der magnetischen Eigenschaften der binären Schichten

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Antiferromagnetische Metallschichten von Mangan-Eisen oder Mangan-Nickel haben bemerkenswerte magnetische Eigenschaften, die eine Kontrolle ihrer Herstellung sowie ihre Charakterisierung erstrebenswert erscheinen lassen. In einer interdisziplinären Kooperation soll die Herstellung von Zweikomponentensystemen aus der Gasphase (CVD) als dünne Schichten untersucht werden. Bei den Komponenten handelt es sich um Mangan-Eisen bzw. Mangan-Nickel. Von wesentlicher Bedeutung ist jedoch nicht nur die Kontrolle des Abscheidungsprozesses, sondern auch die Charakterisierung der magnetischen Eigenschaften. Die Schichten sollen auf ihre Struktur, Morphologie, ihr magnetisches Verhalten und die "exchange bias"-Eigenschaften im Kontakt mit ferromagnetischen Materialien untersucht werden. Dies wird aufgrund der schnellen Entwicklung der Magnetoelektronik neben dem bereits bestehenden Einsatz in Festplatten-Leseköpfen zur Zeit auch für magnetische Speicher (MRAM's) und Sensoren entwickelt, wobei mittels CVD abgeschiedene Schichtsysteme in diesen Themenbereichen kaum untersucht wurden.