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Untersuchung des Wachstumsmechanismus bei der Galliumnitrid-Abscheidung durch Charakterisierung der Gasphase im thermischen MOCVD-Prozeß

通过表征热 MOCVD 工艺中的气相研究氮化镓沉积的生长机制

基本信息

批准号：
5373014
负责人：
Professorin Dr. Katharina Kohse-Höinghaus
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Thermodynamik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
1997
资助国家：
德国
起止时间：
1996-12-31 至 2000-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5373014?language=en
关键词：
Untersuchung des Wachstumsmechanismus bei der

项目摘要

Mit dem beantragten Projekt möchten wir zur Aufklärung der reaktionskinetischen Abläufe, die für das Wachstum von GaNSchichten guter Qualität entscheidend sind, beitragen. Dazu sollen wesentliche reaktive Wachstumsvorläufer identifiziert werden. Im folgenden Projektzeitraum sollen deshalb zwei Aspekte untersucht werden. Aus Abscheidungsexperimenten mit verschiedenen Vorläufern wollen wir Informationen über die temperaturabhängige Wachstumsgeschwindigkeit und Filmqualität gewinnen. Hierzu sollen neben in der Literatur beschriebenen auch neue, z.T. von Schwerpunktteilnehmern zur Verfügung gestellte Precursoren eingesetzt werden. Parallel dazu werden unter Wachstumsbedingungen Spezieskonzentrationen in der Gasphase mittels in-situ-Massenspektrometrie bestimmt. Aus der Natur der gebildeten Gasphasen-Intermediate erwarten wir Ansätze zur Verringerung des Einbaus von Fremdatomen und zur Reduktion der Abscheidungstemperatur. Zur Unterstützung dieser Versuche sind für einige ausgewählte Bedingungen zweidimensionale laserdiagnostische Experimente geplante. Die erzeugten Schichten werden mittels Rasterelektronenmikroskopie, Photolumineszenz- und Ramanspektroskopie charakterisiert. Die Projektarbeiten sollen Hinweise zur Optimierung der Gasphasenchemie ergeben, die in eine mathematische Modellierung der Wachstumsvorgönge einfließen können.

Mit dem beantragten projekt möchten wir zur aufklärung der reaktionskinetischen Abläufe, die for das Wachstum von GaNSchichten guter Qualität entscheidend sind, beitragen. Dazu sollen wesentliche rektive Wachstumsvorläufer identifiziert werden。我已将 Projektzeitraum sollen deshalb zwei Aspekte untersucht werden。我们通过实验来了解温度变化和电影质量的信息。 Hierzu sollen neben in der Literatur beschriebenen auch neue, z.T. von Schwerpunktteilnehmern zur Verfügung gestellte Precursoren eingesetzt werden。平行数据在气相中的 Wachstumsbedingungen Spezieskonzentrationen 气相中间原位质量测量最佳。 Aus der Natur der gebildeten Gasphasen-Intermediate erwarten wir Ansätze zur Verringerung des Einbaus von Fremdatomen und zur Reduktion der Abscheidungstemperatur。 Zur Unterstützung dieser Versuche sind for einige ausgewählte Bedingungen zweiDimensione Laserdiagnostische Experimente geoplante.该技术包括光栅微镜、光学发光和拉曼光谱特征。气相化学优化的项目解决方案，是在 Wachstumsvorgönge einfließen können 的数学模型中实现的。