Untersuchung des Wachstumsmechanismus bei der Galliumnitrid-Abscheidung durch Charakterisierung der Gasphase im thermischen MOCVD-Prozeß

他说：“这是一件很重要的事情，我不知道该怎么做。”我们对此进行了研究，并对其进行了鉴定。我是Projektzeitraum Sollen Deshalb zwei Aspkte untersuht den。Aus Abscheidungs实验在温度范围内对Wachstumsgeschwindigkeit和FilmQualität Gwinnen的Wolledenen Vorläufern Wollewire信息进行了实验。我在文学作品中找到了自己的名字，Z.T.von Schwerpenktteilnehmern zur Verfügung Gatellte Precursoren eingesetzt。在气相原位血流仪检测下，平行放置大足。Aus der Natur der gebildeten Gathasen-Intermediate Erwarten wir Antätze zur Verringerung des Einbaus von Fremdatomen and Zur Reduktion der Abscheidungstemperatur.在此基础上，进行激光诊断实验。他说：“这是一件非常重要的事情。”他说：“我的理想是，我们将在数学模型中死去。”

Mit dem beantragten Projekt möchten wir zur Aufklärung der reaktionskinetischen Abläufe, die für das Wachstum von GaNSchichten guter Qualität entscheidend sind, beitragen. Dazu sollen wesentliche reaktive Wachstumsvorläufer identifiziert werden. Im folgenden Projektzeitraum sollen deshalb zwei Aspekte untersucht werden. Aus Abscheidungsexperimenten mit verschiedenen Vorläufern wollen wir Informationen über die temperaturabhängige Wachstumsgeschwindigkeit und Filmqualität gewinnen. Hierzu sollen neben in der Literatur beschriebenen auch neue, z.T. von Schwerpunktteilnehmern zur Verfügung gestellte Precursoren eingesetzt werden. Parallel dazu werden unter Wachstumsbedingungen Spezieskonzentrationen in der Gasphase mittels in-situ-Massenspektrometrie bestimmt. Aus der Natur der gebildeten Gasphasen-Intermediate erwarten wir Ansätze zur Verringerung des Einbaus von Fremdatomen und zur Reduktion der Abscheidungstemperatur. Zur Unterstützung dieser Versuche sind für einige ausgewählte Bedingungen zweidimensionale laserdiagnostische Experimente geplante. Die erzeugten Schichten werden mittels Rasterelektronenmikroskopie, Photolumineszenz- und Ramanspektroskopie charakterisiert. Die Projektarbeiten sollen Hinweise zur Optimierung der Gasphasenchemie ergeben, die in eine mathematische Modellierung der Wachstumsvorgönge einfließen können.