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Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten

Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten
超硬二硼化钌层的化学气相沉积
批准号：
216711612
负责人：
Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
金额：
$0.0万
依托单位：
Technische Hochschule Wildau
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2012
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2011-12-31 至 2014-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/216711612?language=en
关键词：
ChemischeGasphasenabscheidungvonsuperharten

项目摘要

项目成果

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Super-harte Materialien werden für eine Vielzahl industrieller Anwendungen benötigt, so z.B. für Schneidwerkzeuge von Drehmaschinen oder für kratzresistente Beschichtungen von Oberflächen. Diamantbestückte Werkzeuge können wegen der Bildung von Eisenkarbid nicht für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung Eisen basierter Materialien benutzt werden. Im Rahmen des vorliegenden Projektes soll ein chemischer Gasphasenabscheidungsprozess (CVD) entwickelt werden, um dünne Schichten aus Ruthenium-Diborid auf verschiedenen Oberflächen unter Verwendung kommerziell verfügbarer Precursoren zu wachsen. Zusammensetzung, Phase, Kristallinität und bevorzugte Orientierungen der abgeschiedenen und getemperten Schichten werden mittels Rasterelektronenmikroskopie, Röntgenstrahl- Photoelektronenspektroskopie und Röntgenbeugung untersucht werden. Unter Verwendung einer Standardmethode wird die Vickershärte der Schichten bestimmt.
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会议论文
Atomic layer deposited dopant oxide films for doping of germanium and silicon-germanium substrates: Deposition – Flash Lamp Annealing – SIMS metrology
  • 批准号：
    397771392
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
  • 依托单位：
    Technische Hochschule Wildau
Atomic Layer Deposition of Germanium-Antimony-Telluride
  • 批准号：
    288136928
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
  • 依托单位：
    Technische Hochschule Wildau
Capacitive and ohmic microelectromechanical switches with bridges made of spring stell, especially for application in high frequency systems
  • 批准号：
    233756290
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
  • 依托单位：
    Technische Hochschule Wildau
Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
  • 批准号：
    188543373
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
  • 依托单位：
    Technische Hochschule Wildau
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