Micro and nano-machining of polymer and glass materials using proton beamwriting

使用质子束写入对聚合物和玻璃材料进行微米和纳米加工

基本信息

  • 批准号:
    17310085
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 10.03万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2005
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2005 至 2007
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

Microelectronic and photonics industries need a manufacturing system with flexibility, high precision and a fast prototyping capability. In order to fulfill these requirements, proton beam writing (PBW) will be pursued in the research project. The purpose of this research is to explore the PBW-based flexible micromachining system to demonstrate a fast prototyping capability and its application to t he fabrication of optical, electronic and bio and chemical sensor devices, etc. The technological challenges in this research are three folds. The first challenge is the search for an optimal operation condition of ion source and a focusing system for PBW. Second is the study of materials and processing using PBW. The third challenge is to demonstrate device applications.We have established the PBW-based lithography techniques on organic and inorganic films for resists by demonstrating the high-as pect-ratio structures as high as 〜20. By the development of the hardware and software involved in the PBW system, 100-nm class be am focusing was achieved. Also, trials to achieve increased beam current, wide area beam scan as large as 10 mm squared area using stages were made. Device applications of high-aspect-ratio microstructures by the PBW to dielectrophoretic devices were demonstrat ed. We have confirmed the functionality of the high-aspect-ratio pillar arrays as electric-micro filters in capturing microbes with a size of several micrometers such as E call and yeast. For applications in the area of micro-photonics, organic and inorganic siloxane films were successfully micro-patterned by PBW.
微电子和光子行业需要一个具有灵活性、高精度和快速原型设计能力的制造系统。为了满足这些要求,该研究项目将采用质子束写入(PBW)。本研究的目的是探索基于PBW的柔性微加工系统,以展示快速原型制作能力及其在光学、电子、生物和化学传感器设备等制造中的应用。这项研究的技术挑战有三个方面。第一个挑战是寻找 PBW 离子源和聚焦系统的最佳运行条件。其次是使用PBW进行材料和加工的研究。第三个挑战是演示器件应用。通过演示高达〜20的高纵横比结构,我们已经在有机和无机薄膜上建立了基于PBW的光刻技术,用于抗蚀剂。通过PBW系统所涉及的硬件和软件的开发,实现了100纳米级的束调幅聚焦。此外,还进行了使用平台实现增加束流、大至 10mm 见方区域的广域束扫描的尝试。演示了 PBW 的高纵横比微结构在介电泳器件中的应用。我们已经证实了高纵横比柱阵列作为电微过滤器的功能,可以捕获埃氏杆菌和酵母菌等几微米大小的微生物。对于微光子学领域的应用,有机和无机硅氧烷薄膜已成功通过 PBW 进行微图案化。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Irradiation Effects on Silica Glass by Ion Microbeam for Fabrication of Optical Elements
光学元件制造中离子微束对石英玻璃的辐照效应
Fabrication of High-Aspect-Ratio Pillars by Proton Beam Writing and Application to DEP-Devices
通过质子束写入制造高纵横比支柱及其在 DEP 器件中的应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Y.Furuta;N.Uchiya;H.Nishikawa;J.Haga;M.Oikawa;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya;R.Nakao;S.Uchida
  • 通讯作者:
    S.Uchida
集束プロトンビーム描画によるレジスト材料のマイクロマシニング
通过聚焦质子束写入对抗蚀剂材料进行微加工
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    打矢 直之;原田 卓也;村井 将人;西川 宏之;芳賀 潤二;酒井 卓郎;佐藤 隆博;及川 将一;石井 保行;福田 光宏;山本 春也;神谷 富裕
  • 通讯作者:
    神谷 富裕
25p-ZA-10シリカガラスに生じたイオンマイクロビーム誘起変形の熱的安定性
25p-ZA-10 石英玻璃中离子微束诱导变形的热稳定性
シリカガラスに生じたイオンマイクロビーム誘起変形の熱的安定性
离子微束诱导石英玻璃变形的热稳定性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    相場 洋彦;中村 知晴;大木 義路;村井 将人;西川 宏之;及川 将一;佐藤 隆博;荒川 和夫
  • 通讯作者:
    荒川 和夫
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

NISHIKAWA Hiroyuki其他文献

NISHIKAWA Hiroyuki的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('NISHIKAWA Hiroyuki', 18)}}的其他基金

Molecular spintronics based on hybrid compounds between organic conductors and transition metal complexes.
基于有机导体和过渡金属配合物之间的杂化化合物的分子自旋电子学。
  • 批准号:
    23655114
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Functional analysis of BRCA1/BAP1 complex
BRCA1/BAP1 复合物的功能分析
  • 批准号:
    23791504
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Three dimensional dielectrophoretic devices using high-aspect-ratio structures fabricated by proton beam writing
使用质子束写入制造的高纵横比结构的三维介电泳装置
  • 批准号:
    21360154
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
A functional analysis of stabilizing factor BAP1 of cancer-restraining gene BRCA1
抑癌基因BRCA1稳定因子BAP1的功能分析
  • 批准号:
    20790939
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Development of Molecular Conductors Linked with Magnetic Metal Ions and Their Application to Spin-electronics Materials
磁性金属离子连接分子导体的开发及其在自旋电子材料中的应用
  • 批准号:
    20550118
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of organic superconductors and multifunctional supramolecules based on new π-elecfron systems
基于新型π电子体系的有机超导体和多功能超分子的发展
  • 批准号:
    15550127
  • 财政年份:
    2003
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Study on the three-dimensional structures in silica glass induced by micro- and nano-scale irradiation effects using focused ion beam
聚焦离子束微纳尺度辐照效应诱导石英玻璃三维结构研究
  • 批准号:
    15510112
  • 财政年份:
    2003
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Control of the anisotropy in the formatin of silver precipitates in Ag-Cl containing glass
含 Ag-Cl 玻璃中银沉淀形成各向异性的控制
  • 批准号:
    07805033
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

相似国自然基金

大面积polymer-NP-MOFs复合薄膜的构筑及光催化选择性加氢研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    30 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
用于非富勒烯聚合物太阳能电池的苯并三氮唑类二维共轭聚合物
  • 批准号:
    51673200
  • 批准年份:
    2016
  • 资助金额:
    65.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
CNT网络/Polymer复合材料力学性能的多尺度数值模拟研究
  • 批准号:
    11602270
  • 批准年份:
    2016
  • 资助金额:
    26.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于量子动力学RPMD的化学反应速率研究
  • 批准号:
    21503130
  • 批准年份:
    2015
  • 资助金额:
    21.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
高阻隔主动包装SiOx/Polymer复合薄膜的磁控共溅射制备及反应路径研究
  • 批准号:
    51302054
  • 批准年份:
    2013
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
表面引发聚合反应对材料表面疏水性影响的计算机模拟研究
  • 批准号:
    21104025
  • 批准年份:
    2011
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
不同拓扑结构的水溶性共轭聚合物分子刷的合成及生物应用研究
  • 批准号:
    51173080
  • 批准年份:
    2011
  • 资助金额:
    60.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
水溶性含铱配合物的刚柔嵌段共轭聚合物的合成及其生物传感应用
  • 批准号:
    21104033
  • 批准年份:
    2011
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于金纳米颗粒/Polymer复合结构的MEMS嵌入式高灵敏度力敏检测元件基础研究
  • 批准号:
    51105345
  • 批准年份:
    2011
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
智能控温兼控释药多法治癌用磁性聚合物微球
  • 批准号:
    50702037
  • 批准年份:
    2007
  • 资助金额:
    20.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目

相似海外基金

Bridging Polymer and Glass Physics
桥接聚合物和玻璃物理
  • 批准号:
    2888443
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Studentship
Biodegradable, Biocompatible Pressure Sensitive Adhesives
可生物降解、生物相容性压敏粘合剂
  • 批准号:
    10677869
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
Poly(glycerol carbonate) pressure sensitive adhesives for the in vivo closure of alveolar pleural fistulae
用于体内闭合肺泡胸膜瘘的聚(甘油碳酸酯)压敏粘合剂
  • 批准号:
    10746743
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
A comprehensive study on enhancing the fire resistance of Glass Fiber-Reinforced Polymer (GFRP) reinforced concrete columns and slabs
增强玻璃纤维增​​强聚合物(GFRP)钢筋混凝土柱和板耐火性能的综合研究
  • 批准号:
    580337-2022
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Alliance Grants
Biodegradable, Biocompatible Pressure Sensitive Adhesives
可生物降解、生物相容性压敏粘合剂
  • 批准号:
    10442908
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
Ellipsometer for aging studies in stable polymer glass
用于稳定聚合物玻璃老化研究的椭圆仪
  • 批准号:
    RTI-2023-00020
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Research Tools and Instruments
Probing deep glassy states with ultrastable polymer glass
用超稳定聚合物玻璃探测深玻璃态
  • 批准号:
    RGPIN-2022-03216
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Poly(glycerol carbonate) pressure sensitive adhesives for the in vivo closure of alveolar pleural fistulae
用于体内闭合肺泡胸膜瘘的聚(甘油碳酸酯)压敏粘合剂
  • 批准号:
    10463117
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
Solvent Evaporator Equipment Supplement to R35GM143101
R35GM143101 溶剂蒸发器设备补充
  • 批准号:
    10799251
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
Relaxation behavior of polymer glass below glass transition temperature
玻璃化转变温度以下聚合物玻璃的弛豫行为
  • 批准号:
    19H01861
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 10.03万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了