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Three dimensional dielectrophoretic devices using high-aspect-ratio structures fabricated by proton beam writing
使用质子束写入制造的高纵横比结构的三维介电泳装置
基本信息
- 批准号：21360154
- 负责人：
- 金额：$ 11.32万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2009
- 资助国家：日本
- 起止时间：2009 至 2011
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Aiming at the development of dielectrophotic(DEP) devices working for three-dimensional trapping of micro particles, we introduced high-aspect-ratio microstructures fabricated by proton beam writing(PBW). Three issues including beam engineering, materials and processing, and device applications have been studied. Using the PBW technique with flexible micromachining capability, superior characteristics of the three-dimensional DEP devices for electric-micro filters have been successfully demonstrated.
旨在开发用于微粒三维诱捕的介电（DEP）设备，我们引入了由Proton Beam编写（PBW）制造的高光谱比率微观结构。已经研究了三个问题，包括梁工程，材料和处理以及设备应用。使用具有柔性微加工能力的PBW技术，已成功证明了用于电动滤波器的三维DEP设备的出色特性。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Proton Beam Writing micro fabrication system for micro chemical devices
用于微型化学器件的质子束写入微制造系统
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：P. N. Truong;R. Teshima;T. Hasegawa;H. Nishikawa
- 通讯作者：H. Nishikawa
Electroplating using high-aspect-ratio microstructures fabricated by proton beam writing
使用质子束写入制造的高深宽比微结构进行电镀
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y.Seki;Y.Furuta;H.Nishikawa;T.Watanabe;T.Nakata;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya
- 通讯作者：T.Kamiya
Controlling Spatial Curing Reactions of Epoxy Resin Systems on Ion Beam Writing
离子束写入时控制环氧树脂体系的空间固化反应
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Katsuyoshi Takano;Takahiro Satoh;Masashi Koka;Tomihiro Kamiya;Yasuyuki Ishii;Takeru Ohkubo;Masaki Sugimoto;Hiroyuki Nishikawa;Shu Seki
- 通讯作者：Shu Seki
集束プロトンビーム描画によるPDMSマイクロ流路を有する誘電泳動デバイスの作製
聚焦质子束写入制备PDMS微通道介电泳装置
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：西川宏之(8名中2番目);内田論(8番目)
- 通讯作者：内田論(8番目)
Negative Epoxy Resist for Permanent Use Optimized for Proton Beam Writing
针对质子束写入而优化的永久使用负性环氧树脂光刻胶
- DOI：
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：H. Nishikawa;T. Nishiura;T. Mita;T. Takemori
- 通讯作者：T. Takemori
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