Molekulare Mechanismen der Oberflächenreaktion von Palladium- und Zirkonpräkursoren auf wohldefinierten Oxidsubstraten

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Im Hinblick auf die Herstellung katalytisch aktiver Palladiumschichten mittels Gasphasen-CVD sollen in diesem Projekt detaillierte mikroskopische Untersuchungen zur Wechselwirkung der entsprechenden Precursormoleküle mit den relevanten Modellsubstratoberflächen wie MgO, SiO2, TiO2 und ZrO2 durchgeführt werden. Dazu sollen Abscheideexperimente bei unterschiedlichen Substrattemperaturen durchgeführt werden, um den Haftkoeffizienten und die Aktivierungsenergie für die einzelnen Zerfallschritte zu bestimmen. Der Einfluss von Defekten und Hydroxylgruppen auf die Oxidoberflächen auf das Abscheideverhalten soll nähre untersucht werden. Durch eine definierte Begasung mit molekularen bzw. atomaren Wasserstoff während und nach der CVD-Abscheidung soll dessen Rolle beim Zerfall des Pd-Precursors eingehend untersucht werden. Die Untersuchungen sollen vor allem dazu dienen, die Zersetzung der adsorbierten metallorganischen Pd-Verbindungen in Hinblick auf die gewünschten Eigenschaften des gewonnenen Palladiums (Reinheit, Mophologie) zu optimieren. Dieses Projekt soll in Abstimmung mit dem Projekt von Prof. Kasper (Universtität Karlsruhe, Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik) und Prof. Muhler (Universität Bochum, Lehrstuhl für Technische Chemie) durchgeführt werden. Der Precursor wird von der AG Fischer (Universität Bochum, Lehrstuhl für Anorganische Chemie) zur Verfügung gestellt.