Development of nano-polishing system for molds of micro lenses applying gel-structured electro-rheological fluids

应用凝胶结构电流变液的微透镜模具纳米抛光系统的开发

• 批准号: 18360071
• 负责人: AOYAMA Tojiro
• 金额: $ 10.85万
• 依托单位: Keio University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360071/
• 关键词: 切削・研削加工; 研磨加工; 機能性材料; 電気粘性流体; 機械工作・生産工学; 精密研磨; ゲル; 金型; ナノ加工

本研究は, 新機能性材料であるゲル構造電気粘性流体(ERG)の性質を金型研磨加工に応用することを考え, これを用いた小型レンズ用金型のナノ研磨加工装置を開発することを目的として行われた. ERG研磨パッドを新たに開発し, これに静的および動的電場を付与することで, 金型材料を高能率・高精度に研磨することに成功した. さらに, 片側電極構造の研磨パッドを開発し, ガラスなどの非導電材料の研磨加工も可能であることを明らかにした.

This study is aimed at developing a new functional material called electro-viscous fluid (ERG) for use in metal grinding. ERG grinding is a new development, both static and dynamic electric fields are applied, and gold type materials have high energy efficiency and high precision. In addition, the polishing of wafer side electrode structures may be carried out by polishing non-conductive materials.

项目成果

電気粘性ゲルを用いたマイクロ研磨法の開発

电流变凝胶微抛光方法的开发

• 发表时间: 2007
• 作者: 竹澤慎吾;柿沼康弘;青山藤詞郎;田中克敏;安齊秀伸
• 通讯作者: 安齊秀伸

Development of High-performance ER Gel Produced by Electric-field assisted Molding, Proceedings of 11th Conference on Electrorheological Fluids and Magnetorheological Suspensions

电场辅助成型高性能缓释凝胶的研制，第十一届电流变液与磁流变悬浮液会议论文集

• 发表时间: 2009
• 期刊: Journal of Physics, Conference Series 149
• 作者: Y. Kakinuma;T. Aoyama;H. Anzai
• 通讯作者: H. Anzai

ERゲルの開発とその応用

缓释凝胶的研制及其应用

• 发表时间: 2008
• 作者: 青山藤詞郎;柿沼康弘
• 通讯作者: 柿沼康弘

Application of the Electro-rheological Gel to Fixture Devices for Micro Milling Processes

• DOI: 10.1299/jamdsm.1.387
• 发表时间: 2007
• 期刊: Journal of Advanced Mechanical Design Systems and Manufacturing
• 影响因子: 0.9
• 作者: Y. Kakinuma;T. Aoyama;H. Anzai

微細砥粒混合ERG研磨パッドによる研磨加工法の開発

开发使用混有细磨粒的ERG抛光垫的抛光方法

• 发表时间: 2006
• 期刊: 日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集 No. 06-34
• 作者: 柿沼康弘;中村直太;青山藤詞郎;田中克敏;安齋秀伸
• 通讯作者: 安齋秀伸