チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化
チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化
批准号:
18740354
负责人:
篠原 正典
金额:
$2.24万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2006
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2006 至 2007
中文摘要
我々の生活を安全・安心で快適なものにしていくことが人間の究極の課題である。21世紀はバイオ分子の力をいかに使いこなすかが勝負となる。それゆえ、バイオ分子の機能を最大限に引き出すために固体表面にバイオ分子を固定化することが重要であり、様々な方法が提案されてきた。研究代表者は以下の方法を提案している。無機と有機の中間の性質を持つアモルファス炭素炭素薄膜を密着性よく基板に堆積する。炭素膜堆積反応を制御して炭素膜表面はバイオ分子との反応性を高い表面層を形成し、バイオ分子の修飾をしやすくする法である。この方法は大量生産を踏まえた工業的にも最適であると考えられる。さらに、柔軟性のあるバイオ分子を柔軟性のある高分子フィルム上に、固定化できれば柔軟性を必要とする箇所に使うことができ、その応用範囲は一段と拡大する。しかし、高分子フィルムは融点が低いという問題点もあり、結局のところ、炭素膜堆積プロセスの確立が第一に必要である。そこで、本研究では、アモルファス炭素膜の堆積プロセスの確立および高分子フィルム・高分子チューブ内への膜堆積が可能なプロセスの確立を目指した。この研究の結果、プラズマで生成された化学種が吸着し膜となっていくアモルファス炭素膜の成膜機構の一端を明らかにすることができ、今後の研究に大きな道標を与えることができた。次に、管内にアモルファス炭素膜を堆積させ、その堆積過程を制御するために、その計測法として多重表面反射赤外分光法を提案し、管内の物質を赤外分光法で計測することに成功した。新たな計測方法を確立でき、今後の研究全般の進展に寄与できた。
英文摘要
我々の生活を安全・安心で快適なものにしていくことが人間の究極の課題である。21世紀はバイオ分子の力をいかに使いこなすかが勝負となる。それゆえ、バイオ分子の機能を最大限に引き出すために固体表面にバイオ分子を固定化することが重要であり、様々な方法が提案されてきた。研究代表者は以下の方法を提案している。無機と有機の中間の性質を持つアモルファス炭素炭素薄膜を密着性よく基板に堆積する。炭素膜堆積反応を制御して炭素膜表面はバイオ分子との反応性を高い表面層を形成し、バイオ分子の修飾をしやすくする法である。この方法は大量生産を踏まえた工業的にも最適であると考えられる。さらに、柔軟性のあるバイオ分子を柔軟性のある高分子フィルム上に、固定化できれば柔軟性を必要とする箇所に使うことができ、その応用範囲は一段と拡大する。しかし、高分子フィルムは融点が低いという問題点もあり、結局のところ、炭素膜堆積プロセスの確立が第一に必要である。そこで、本研究では、アモルファス炭素膜の堆積プロセスの確立および高分子フィルム・高分子チューブ内への膜堆積が可能なプロセスの確立を目指した。この研究の結果、プラズマで生成された化学種が吸着し膜となっていくアモルファス炭素膜の成膜機構の一端を明らかにすることができ、今後の研究に大きな道標を与えることができた。次に、管内にアモルファス炭素膜を堆積させ、その堆積過程を制御するために、その計測法として多重表面反射赤外分光法を提案し、管内の物質を赤外分光法で計測することに成功した。新たな計測方法を確立でき、今後の研究全般の進展に寄与できた。
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DOI:
--
发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
作者:
[六田朋美, 近藤龍二, 荒川純一, 濱田俊之, 迫田達也, Toshiyuki Hamada, Toshiyuki Hamada, 荒川純一, 六田朋美, 迫田達也, 六田朋美, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, H.Shibata, M.Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara]
通讯作者:
Masanori Shinohara
Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma
基质温度对甲烷等离子体中生成的碳氢化合物吸附的影响
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Transaction of the Materials Research Society of Japan 32
影响因子:
--
作者:
[六田朋美, 近藤龍二, 荒川純一, 濱田俊之, 迫田達也, Toshiyuki Hamada, Toshiyuki Hamada, 荒川純一, 六田朋美, 迫田達也, 六田朋美, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara]
通讯作者:
Masanori Shinohara
DOI:
10.1016/j.tsf.2007.10.014
发表时间:
2008-05
期刊:
Thin Solid Films
影响因子:
2.1
作者:
[M. Shinohara;Ken Cho;H. Shibata;K. Okamoto;T. Nakatani;Y. Matsuda;H. Fujiyama]
通讯作者:
M. Shinohara;Ken Cho;H. Shibata;K. Okamoto;T. Nakatani;Y. Matsuda;H. Fujiyama
Interaction of Hydrogen Plasma with Hydrocarbon Species
氢等离子体与碳氢化合物的相互作用
DOI:
--
发表时间:
2006
期刊:
Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan
影响因子:
--
作者:
[六田朋美, 近藤龍二, 荒川純一, 濱田俊之, 迫田達也, Toshiyuki Hamada, Toshiyuki Hamada, 荒川純一, 六田朋美, 迫田達也, 六田朋美, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, Masanori Shinohara, H.Shibata]
通讯作者:
H.Shibata
Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
使用多重内反射几何结构中的红外光谱研究有或没有基底偏置的甲烷等离子体期间硅表面上碳氢化合物的演化
DOI:
--
发表时间:
2007
期刊:
Applied Surface Science 253
影响因子:
--
作者:
[六田朋美, 近藤龍二, 荒川純一, 濱田俊之, 迫田達也, Toshiyuki Hamada, Toshiyuki Hamada, 荒川純一, 六田朋美, 迫田達也, 六田朋美, Masanori Shinohara]
通讯作者:
Masanori Shinohara
共 7 条
Deposition of carbon films due to decomposition of source molecules during pulse plasmas and elucidation of its reactions
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批准号:23K03372
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额:$2.91万
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财政年份:2023
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负责人:篠原 正典
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依托单位:
A Study on Deposition mechanisms of Amorphous Carbon films with in-situ Multiple-Internal-Reflection Infared Spectroscopy
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批准号:20K03920
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额:$2.75万
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财政年份:2020
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负责人:篠原 正典
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依托单位:
プラズマによる表面水素反応の制御を利用した機能性有機分子薄膜の半導体表面での形成
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批准号:15760023
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项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额:$2.05万
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财政年份:2003
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负责人:篠原 正典
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依托单位:
小型鯨類の社会性に関する研究
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批准号:97J02582
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$1.34万
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财政年份:1998
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负责人:篠原 正典
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依托单位:
海外基金