チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化

通过在管内创建等离子体过程诊断技术和薄膜沉积技术来提高管的功能

• 批准号: 18740354
• 负责人: 篠原 正典
• 金额: $ 2.24万
• 依托单位: Nagasaki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2007
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18740354/
• 关键词: プラズマ; 赤外分光; アモルファス炭素膜; プラズマ診断; 成長機構; 薄膜堆積; 炭素薄膜

我々の生活を安全・安心で快適なものにしていくことが人間の究極の課題である。21世紀はバイオ分子の力をいかに使いこなすかが勝負となる。それゆえ、バイオ分子の機能を最大限に引き出すために固体表面にバイオ分子を固定化することが重要であり、様々な方法が提案されてきた。研究代表者は以下の方法を提案している。無機と有機の中間の性質を持つアモルファス炭素炭素薄膜を密着性よく基板に堆積する。炭素膜堆積反応を制御して炭素膜表面はバイオ分子との反応性を高い表面層を形成し、バイオ分子の修飾をしやすくする法である。この方法は大量生産を踏まえた工業的にも最適であると考えられる。さらに、柔軟性のあるバイオ分子を柔軟性のある高分子フィルム上に、固定化できれば柔軟性を必要とする箇所に使うことができ、その応用範囲は一段と拡大する。しかし、高分子フィルムは融点が低いという問題点もあり、結局のところ、炭素膜堆積プロセスの確立が第一に必要である。そこで、本研究では、アモルファス炭素膜の堆積プロセスの確立および高分子フィルム・高分子チューブ内への膜堆積が可能なプロセスの確立を目指した。この研究の結果、プラズマで生成された化学種が吸着し膜となっていくアモルファス炭素膜の成膜機構の一端を明らかにすることができ、今後の研究に大きな道標を与えることができた。次に、管内にアモルファス炭素膜を堆積させ、その堆積過程を制御するために、その計測法として多重表面反射赤外分光法を提案し、管内の物質を赤外分光法で計測することに成功した。新たな計測方法を確立でき、今後の研究全般の進展に寄与できた。

We are concerned about the safety and peace of mind in our life, and we are very concerned about human problems. In the 21st century, the molecular forces are so strong that they don't know what to do. The maximum limit of molecular energy is introduced to lead to the immobilization of molecular molecules on the solid surface, which is of great importance to the proposed methods. The following methods are proposed by the research representative. There is no machine in the machine to control the adhesion of carbon film and substrate. The carbon film stack controls the surface of the carbon film, the molecule, the surface, the formation, the molecule, the surface, the surface. In this way, a large number of students are required to study the most important information in the industry. Flexibility, flexibility and flexibility. Temperature, polymer temperature, melting point, temperature, temperature, The purpose of this study is to determine whether the carbon film stack is active in this study. The results of the study, the results of the study, the production of chemical species, the absorption of carbon films, the formation of carbon films, the results of the study, the absorption of chemical materials, the absorption of carbon films, the formation of carbon films, and the future research. For the second time, in the tube, the carbon film is used to stack the carbon film, the process is used to control the carbon film, the measurement method is used to measure the multiple surface reflection infrared spectroscopic method, and the in-tube material is used. The infrared spectrophotometry is used to determine the success of the method. The new method of calculation has been established, and all future studies will be sent to you.

项目成果

Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films

氢等离子体与非晶碳膜相互作用的研究

• 发表时间: 2007
• 作者: 六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;H.Shibata;M.Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara
• 通讯作者: Masanori Shinohara

Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma

基质温度对甲烷等离子体中生成的碳氢化合物吸附的影响

• 发表时间: 2007
• 期刊: Transaction of the Materials Research Society of Japan 32
• 作者: 六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara
• 通讯作者: Masanori Shinohara

Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy

• DOI: 10.1016/j.tsf.2007.10.014
• 发表时间: 2008-05
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: M. Shinohara;Ken Cho;H. Shibata;K. Okamoto;T. Nakatani;Y. Matsuda;H. Fujiyama

Interaction of Hydrogen Plasma with Hydrocarbon Species

氢等离子体与碳氢化合物的相互作用

• 发表时间: 2006
• 期刊: Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan
• 作者: 六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;H.Shibata
• 通讯作者: H.Shibata

Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry

使用多重内反射几何结构中的红外光谱研究有或没有基底偏置的甲烷等离子体期间硅表面上碳氢化合物的演化

• 发表时间: 2007
• 期刊: Applied Surface Science 253
• 作者: 六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara
• 通讯作者: Masanori Shinohara