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Deposition of carbon films due to decomposition of source molecules during pulse plasmas and elucidation of its reactions

Deposition of carbon films due to decomposition of source molecules during pulse plasmas and elucidation of its reactions
脉冲等离子体过程中源分子分解导致碳膜沉积及其反应的阐明
批准号：
23K03372
负责人：
篠原 正典
金额：
$2.91万
依托单位：
Fukuoka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23K03372/
关键词：
pulse plasmacarbon filmssource moleculesdecompositiondeposition

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A Study on Deposition mechanisms of Amorphous Carbon films with in-situ Multiple-Internal-Reflection Infared Spectroscopy
  • 批准号：
    20K03920
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.75万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    篠原 正典
  • 依托单位：
    Fukuoka University
チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化
  • 批准号：
    18740354
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $2.24万
  • 财政年份：
    2006
  • 负责人：
    篠原 正典
  • 依托单位：
    Nagasaki University
プラズマによる表面水素反応の制御を利用した機能性有機分子薄膜の半導体表面での形成
  • 批准号：
    15760023
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $2.05万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    篠原 正典
  • 依托单位：
    Nagasaki University
小型鯨類の社会性に関する研究
  • 批准号：
    97J02582
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    篠原 正典
  • 依托单位：
    Kyoto University
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