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Deposition of carbon films due to decomposition of source molecules during pulse plasmas and elucidation of its reactions
脉冲等离子体过程中源分子分解导致碳膜沉积及其反应的阐明
基本信息
- 批准号：23K03372
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
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松田 良信
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- 批准号：
530411-2018 - 财政年份：2018
- 资助金额：
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Collaborative Research and Development Grants
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17H03217 - 财政年份：2017
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15K18038 - 财政年份：2015
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- 批准号：
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- 批准号：
26820327 - 财政年份：2014
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