Development of a new type common path interferometer for soft X-ray using a grazing angle beam splitter of a free standing membrane

采用自立式薄膜掠角分束器开发新型软X射线共光路干涉仪

• 批准号: 19860006
• 负责人: HARADA Tetsuo
• 金额: $ 1.93万
• 依托单位: University of Hyogo (2008)Tohoku University (2007)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19860006/
• 关键词: 応用光学; 干渉計測; 超薄膜; X線; 超精密計測

低コヒーレンスな軟X線光源に適用可能な新型コモンパス干渉計を提案した.大きな特徴は斜入射ビームスプリッターを縦配置し,等倍共心光学系と組み合わせているため干渉縞生成が非常に容易になることである.シミュレーションより0.1mmと大きな光源でも縞生成が可能で,実験室光源への適用を示した.光学素子の移動精度も10nm程度で縞生成可能である.また,可視光干渉計において干渉縞を生成し収差測定した.

Low コ ヒ ー レ ン ス な soft X-ray source may な に apply new コ モ ン パ ス dry involved meter を proposal し た. Big き な, 徴 は oblique incidence ビ ー ム ス プ リ ッ タ ー を し 縦 configuration, and other times the homocentric み と group in department of light わ せ て い る た め dry involved stripe generated が very に easy に な る こ と で あ る. シ ミ ュ レ ー シ ョ ン よ り 0.1 mm と large き な light で も stripe generated が may で, be 験 room light へ の applicable を shown し た. Degree of precision optical element child の mobile も 10 nm で stripe generated may で あ る. ま た, visible light dry involved meter に お い て dry involved stripe を generated し 収 difference measurement し た.

项目成果

新型軟X線用コモンパス干渉計の開発

新型软X射线共光路干涉仪的研制

• 发表时间: 2009
• 作者: Satoshi Saga;et.al.;中村俊博(他3名);Toshihiro NAKAMURA;中村俊博(他4名);Toshihiro NAKAMURA;中村俊博(他4名);Toshilro NAKAURA;中村俊博(他4名);原田哲男
• 通讯作者: 原田哲男