Development of coherence diffraction imaging for high-harmonic-generation EUV source

高次谐波EUV光源相干衍射成像的发展

基本信息

  • 批准号：
    22760029
  • 负责人：
    HARADA Tetsuo
  • 金额：
    $ 2.66万
  • 依托单位：
    University of Hyogo
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 财政年份：
    2010
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2010 至 2011
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

Image reconstruction method for a lensless microscope was developed to observe EUV-mask patterns. The microscope equipped with standalone EUV source of high harmonic generation, which temporal coherence was not enough to reconstruct the pattern image. To improve the coherence, we fabricated a grating for a monochromator.
提出了一种用于EUV掩模图形观察的无透镜显微镜图像重建方法。该显微镜配备了高次谐波产生的独立EUV光源，其时间相干性不足以重建图案图像。为了提高相干性，我们制作了一个单色器光栅。

项目成果

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专利数量（0）
Critical Dimension Evaluation of an EUV Mask utilizing the Coherent EUV Scatterometry Microscope
利用相干 EUV 散射测量显微镜评估 EUV 掩模的关键尺寸
  • DOI：
  • 发表时间：
    2010
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Tetsuo Harada;Masato Nakasuji;Masaki Tada;Takeo Watanabe;Hiroo Kinoshita
  • 通讯作者：
    Hiroo Kinoshita
Critical Dimension Measurement of an Extreme-Ultraviolet Mask Utilizing Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope at NewSUBARU
NewSUBARU 利用相干极紫外散射显微镜测量极紫外掩模的临界尺寸
  • DOI：
    10.1143/jjap.50.06gb03
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
    Jpn. J. Appl. Phys
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Tetsuo Harada;Masato Nakasuji;Masaki Tada;Yutaka Nagata;Takeo Watanabe;and Hiroo Kinoshita
  • 通讯作者：
    and Hiroo Kinoshita
Development of Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope with High-Order Harmonic Generation Source for Extreme-Ultraviolet Mask Inspection and Metrology
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
    Jpn. J. Appl. Phys
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Masato Nakasuji;Akifumi Tokimasa;Tetsuo Harada;Yutaka Nagata;Takeo Watanabe;Katsumi Midorikawa;Hiroo Kinoshita
  • 通讯作者：
    Hiroo Kinoshita
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク検査
使用相干散射显微镜进行 EUV 掩模检查
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    原田哲男;中筋正人;渡邊健夫;永田豊;木下博雄
  • 通讯作者：
    木下博雄
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるCD評価
使用相干散射显微镜进行 CD 评估
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    中筋正人;多田将樹;原田哲男;渡邊健夫,木下博雄
  • 通讯作者：
    渡邊健夫,木下博雄
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