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Development of coherence diffraction imaging for high-harmonic-generation EUV source

Development of coherence diffraction imaging for high-harmonic-generation EUV source
高次谐波EUV光源相干衍射成像的发展
批准号：
22760029
负责人：
HARADA Tetsuo
金额：
$2.66万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22760029/
关键词：
応用光学EUV高次高調波コヒーレンスコヒーレント回折イメージング

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Image reconstruction method for a lensless microscope was developed to observe EUV-mask patterns. The microscope equipped with standalone EUV source of high harmonic generation, which temporal coherence was not enough to reconstruct the pattern image. To improve the coherence, we fabricated a grating for a monochromator.
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会议论文
Critical Dimension Evaluation of an EUV Mask utilizing the Coherent EUV Scatterometry Microscope
利用相干 EUV 散射测量显微镜评估 EUV 掩模的关键尺寸
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [Tetsuo Harada, Masato Nakasuji, Masaki Tada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita]
通讯作者： Hiroo Kinoshita
Critical Dimension Measurement of an Extreme-Ultraviolet Mask Utilizing Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope at NewSUBARU
NewSUBARU 利用相干极紫外散射显微镜测量极紫外掩模的临界尺寸
DOI： 10.1143/jjap.50.06gb03
发表时间： 2011
期刊： Jpn. J. Appl. Phys
影响因子： --
作者： [Tetsuo Harada, Masato Nakasuji, Masaki Tada, Yutaka Nagata, Takeo Watanabe, and Hiroo Kinoshita]
通讯作者： and Hiroo Kinoshita
Development of Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope with High-Order Harmonic Generation Source for Extreme-Ultraviolet Mask Inspection and Metrology
开发用于极紫外掩模检测和计量的具有高次谐波发生源的相干极紫外散射测量显微镜
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： Jpn. J. Appl. Phys
影响因子： --
作者： [Masato Nakasuji, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Yutaka Nagata, Takeo Watanabe, Katsumi Midorikawa, Hiroo Kinoshita]
通讯作者： Hiroo Kinoshita
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク検査
使用相干散射显微镜进行 EUV 掩模检查
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [原田哲男, 中筋正人, 渡邊健夫, 永田豊, 木下博雄]
通讯作者： 木下博雄
共 15 条
    Study on repair and strengthening methods for conservation of historical structures, especially existing in Gunkanjima island
    • 批准号：
      15H04027
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.65万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      HARADA Tetsuo
    • 依托单位：
      Nagasaki University
    Short- and long-term effects of the amount of input in early foreign language learning on phonemic discrimination
    • 批准号：
      23520712
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      HARADA Tetsuo
    • 依托单位：
      Waseda University
    Development of intermediate anchoring device for PC tendons using Highly Expansive Material and its anchoring mechanism
    • 批准号：
      23560552
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.49万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      HARADA Tetsuo
    • 依托单位：
      Nagasaki University
    Physiological anthropological intervention-study for improving sleep health of children
    • 批准号：
      22370089
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.73万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      HARADA Tetsuo
    • 依托单位：
      Kochi University
    国内基金
    海外基金
    石墨烯/硅超表面集成EUV探测器设计及 制备工艺研究
    EUV光源驱动器用高效交叉弛豫Tm:LiYF4激光晶体性能优化研究
    基于模式调制滤波方法的EUV光刻系统驱动光源波前探测与调控机理研究
    自由电子激光光源下高数值孔径EUV光刻成像的快速仿真与性能优化研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      52万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      董立松
    • 依托单位：
      中国科学院微电子研究所