Elektrochemische Abscheidung linearer metallischer Strukturen aus einer Kapillarsonde nach dem SICM-Prinzip - Grundlagen und Anwendung

根据 SICM 原理从毛细管探针电化学沉积线性金属结构 - 基础知识和应用

• 批准号: 5379511
• 负责人: Professor Dr. Michael Hietschold
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1996-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5379511?language=en
• 关键词: Elektrochemische; Abscheidung; linearer; metallischer; Strukturen

Ziel der Arbeiten sind systematische Untersuchungen zur elektrochemischen Metallabscheidung unter Nutzung eines modifizierten Raster-Ionen-Leitfähigkeitsmikroskops (SICM). Im Anschluß an die Ergebnisse des Vorantrages sollen zum einen die grundlegenden Probleme der Elektrochemie in kleinen Volumina mit lokal relativ homogenen Feldern und der "Hydrodynamik" der Strömung durch Kapillarsonden mit Sub-µm-Durchmesser untersucht werden. Zum anderen sollen Anwendungen bei der Strukturierung im µm-Bereich (Leitbahnkonfektionierung auf vertikal strukturierten MEMS) und im sub-µm- bzw. nm-Bereich (Herstellung von Quantendrähten, Junctions etc.) erkundet werden. Dafür werden die existierenden Meßplätze komplettiert bzw. modifiziert sowie methodische Arbeiten zur halbquantitativen Bestimmung der Dicke der auf transparenten Substraten abgeschiedenen Metallschicht im simultan arbeitenden Transmissions-SNOM-Modus durchgeführt.

Im an Anschluß an Answer, a Vorantraged Vorantraged Sollen Zum Einen Die Grundlegenden Problemé der Elektrochemie in Kleinen Volume mit lokal relativ homogenen Feldern und der "Hydrodynamik" der Strömung durch Kapillarsonden mit Sub-µm-Durchmesser untersucht werden. Zum Anderen solren solren solren strukturiaerung（leitbahnkonfektionieurung auf vertikal strukturiaerhun mems）和im sub-µm-bzw。 NM-BEREICH（Herstellung vonQuantendrähten，交界等）等是亚BBZW。为了世界的目的，它是现存方法的一种形式。 bestimmung der dicke der der auf透明的基质吸收metallschicht im Sysultan arbeitenden transmissions-snom-modusdurchgeführt。