Elektrochemische Abscheidung linearer metallischer Strukturen aus einer Kapillarsonde nach dem SICM-Prinzip - Grundlagen und Anwendung

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Ziel der Arbeiten sind systematische Untersuchungen zur elektrochemischen Metallabscheidung unter Nutzung eines modifizierten Raster-Ionen-Leitfähigkeitsmikroskops (SICM). Im Anschluß an die Ergebnisse des Vorantrages sollen zum einen die grundlegenden Probleme der Elektrochemie in kleinen Volumina mit lokal relativ homogenen Feldern und der "Hydrodynamik" der Strömung durch Kapillarsonden mit Sub-µm-Durchmesser untersucht werden. Zum anderen sollen Anwendungen bei der Strukturierung im µm-Bereich (Leitbahnkonfektionierung auf vertikal strukturierten MEMS) und im sub-µm- bzw. nm-Bereich (Herstellung von Quantendrähten, Junctions etc.) erkundet werden. Dafür werden die existierenden Meßplätze komplettiert bzw. modifiziert sowie methodische Arbeiten zur halbquantitativen Bestimmung der Dicke der auf transparenten Substraten abgeschiedenen Metallschicht im simultan arbeitenden Transmissions-SNOM-Modus durchgeführt.