Elektrochemische Abscheidung linearer metallischer Strukturen aus einer Kapillarsonde nach dem SICM-Prinzip - Grundlagen und Anwendung

根据 SICM 原理从毛细管探针电化学沉积线性金属结构 - 基础知识和应用

• 批准号: 5379511
• 负责人: Professor Dr. Michael Hietschold
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1996-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5379511?language=en
• 关键词: Elektrochemische; Abscheidung; linearer; metallischer; Strukturen

Ziel der Arbeiten sind systematische Untersuchungen zur elektrochemischen Metallabscheidung unter Nutzung eines modifizierten Raster-Ionen-Leitfähigkeitsmikroskops (SICM). Im Anschluß an die Ergebnisse des Vorantrages sollen zum einen die grundlegenden Probleme der Elektrochemie in kleinen Volumina mit lokal relativ homogenen Feldern und der "Hydrodynamik" der Strömung durch Kapillarsonden mit Sub-µm-Durchmesser untersucht werden. Zum anderen sollen Anwendungen bei der Strukturierung im µm-Bereich (Leitbahnkonfektionierung auf vertikal strukturierten MEMS) und im sub-µm- bzw. nm-Bereich (Herstellung von Quantendrähten, Junctions etc.) erkundet werden. Dafür werden die existierenden Meßplätze komplettiert bzw. modifiziert sowie methodische Arbeiten zur halbquantitativen Bestimmung der Dicke der auf transparenten Substraten abgeschiedenen Metallschicht im simultan arbeitenden Transmissions-SNOM-Modus durchgeführt.

根据Nutzung eines Modifizierten Raster-Ionen-Leitfähigkeitsmikroskopps(SICM)，Zil der arbeiten sind系统地对金属进行了电化。Im Anschluüan die Ergebnisse des Vorantrages Sollen zum einen die grundLegenden probleme der ElektroChemie in kleinen Volumina MIT Lokal Relativ Lokal Relativ Homgenen Feldern der“Water Dynamik der Strömung duch Kapillarsonden MIT Sub-µm-DurchMesser untersuht den”.Zum Anderen Sollen Anwendungen beder Strukturierung im-m-Bereich(Leitbahnkonfektionierung Auf Vertikal Strukturierten MEMS)和im-subum-m-bzw.nm-Bereich(Herstellung von Quantendrähten，Junctions等)Erkundet是登场的。Dafurür是存在的，使我不再是plätze komplettiert bzw。修改Sowie Sowie Methodische arbeiten zur halfiziert Sowie Methodische arbeiten zur halfiziert Sowie Sowodische arbeiten zur halbiten in Bstifmung der Dicke der auf透明的Substrenten abgchiedenen Metallschicht im Simultan to Arbeitenden变速器-SNOM-Modus duchgefüHRT。