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Study on the expanse of thermalized electrons in condensed matters
凝聚态物质中热化电子的扩展研究
基本信息
- 批准号：21656238
- 负责人：
- 金额：$ 2.03万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2009
- 资助国家：日本
- 起止时间：2009 至 2011
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The expansion of the wave function of thermalized electrons in the quasi-free state in PHS films has been estimated. On the basis of experiment results, the reaction of thermalized electrons with electron scavengers immediately after ionization was formulated. We developed a code which calculates electron dynamics from ionization to electron localization.
估计了在pHS膜中准无状态下热元电子的波函数的扩展。根据实验结果，制定了电离后的热电子与电子清除剂的反应。我们开发了一个计算从电离到电子定位的电子动力学的代码。
项目成果
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
Evaluation of Chemical Gradient Enhancement Methods for Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
化学放大极紫外光刻胶化学梯度增强方法的评价
- DOI：10.1143/jjap.48.126004
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Kozawa;H. Oizumi;T. Itani;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
Latent Image Created Using Small-Field Exposure Tool for Extreme Ultraviolet Lithography
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- DOI：10.1143/jjap.48.106506
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Kozawa;H. Oizumi;T. Itani;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
Radiation Chemistry in Chemically Amplified Resists
- DOI：10.1143/jjap.49.030001
- 发表时间：2010-01-01
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Kozawa, Takahiro;Tagawa, Seiichi
- 通讯作者：Tagawa, Seiichi
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) Generated in Thin Film upon Exposure to Electron Beam
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- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Natsuda;T. Kozawa;K. Okamoto;A. Saeki;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
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- DOI：10.1143/jjap.48.06fc05
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Natsuda;T. Kozawa;K. Okamoto;A. Saeki;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
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