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Study on the expanse of thermalized electrons in condensed matters

Study on the expanse of thermalized electrons in condensed matters
凝聚态物质中热化电子的扩展研究
批准号：
21656238
负责人：
KOZAWA Takahiro
金额：
$2.03万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21656238/
关键词：
放射線X線粒子線原子・分子物理原子力エネルギー計算物理放射線、X線、粒子線

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
估算了PHS薄膜中准自由态热化电子波函数的展开式。在实验结果的基础上，对电离后立即发生的热化电子与电子清除剂的反应进行了描述。我们开发了一个计算从电离到电子局域化的电子动力学的代码。
英文摘要
The expansion of the wave function of thermalized electrons in the quasi-free state in PHS films has been estimated. On the basis of experiment results, the reaction of thermalized electrons with electron scavengers immediately after ionization was formulated. We developed a code which calculates electron dynamics from ionization to electron localization.
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会议论文
Evaluation of Chemical Gradient Enhancement Methods for Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
化学放大极紫外光刻胶化学梯度增强方法的评价
DOI： 10.1143/jjap.48.126004
发表时间： 2009
期刊： Jpn. J. Appl. Phys
影响因子： --
作者： [T. Kozawa, H. Oizumi, T. Itani, and S. Tagawa]
通讯作者： and S. Tagawa
Latent Image Created Using Small-Field Exposure Tool for Extreme Ultraviolet Lithography
使用用于极紫外光刻的小视场曝光工具创建潜像
DOI： 10.1143/jjap.48.106506
发表时间： 2009
期刊： Jpn. J. Appl. Phys
影响因子： --
作者： [T. Kozawa, H. Oizumi, T. Itani, and S. Tagawa]
通讯作者： and S. Tagawa
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) Generated in Thin Film upon Exposure to Electron Beam
电子束照射下薄膜中聚（4-羟基苯乙烯）自由基阳离子的动力学
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Natsuda, T. Kozawa, K. Okamoto, A. Saeki, and S. Tagawa]
通讯作者： and S. Tagawa
Determination of Optimum Thermalization Distance Based on Trade-off Relationship between Resolution, Line Edge Roughness and Sensitivity of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
基于化学放大型极紫外光刻胶分辨率、线边缘粗糙度和灵敏度权衡关系确定最佳热化距离
DOI： 10.2494/photopolymer.24.137
发表时间： 2011
期刊： Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子： 0.8
作者： [T. Kozawa, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
共 13 条
    Study on nanoscale chemical reactions and reaction sites using quantum beams
    • 批准号：
      22246128
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $21.96万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      KOZAWA Takahiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    Study on nanoscale chemical reaction for the establishment of scientific foundation of ultrafine patterning using extreme ultraviolet radiation
    • 批准号：
      19360428
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.23万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      KOZAWA Takahiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金