Study on the expanse of thermalized electrons in condensed matters

凝聚态物质中热化电子的扩展研究

基本信息

  • 批准号：
    21656238
  • 负责人：
    KOZAWA Takahiro
  • 金额：
    $ 2.03万
  • 依托单位：
    Osaka University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 财政年份：
    2009
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2009 至 2011
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

The expansion of the wave function of thermalized electrons in the quasi-free state in PHS films has been estimated. On the basis of experiment results, the reaction of thermalized electrons with electron scavengers immediately after ionization was formulated. We developed a code which calculates electron dynamics from ionization to electron localization.
估算了PHS薄膜中准自由态热化电子波函数的展开式。在实验结果的基础上，对电离后立即发生的热化电子与电子清除剂的反应进行了描述。我们开发了一个计算从电离到电子局域化的电子动力学的代码。

项目成果

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Evaluation of Chemical Gradient Enhancement Methods for Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
化学放大极紫外光刻胶化学梯度增强方法的评价
  • DOI：
    10.1143/jjap.48.126004
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
    Jpn. J. Appl. Phys
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    T. Kozawa;H. Oizumi;T. Itani;and S. Tagawa
  • 通讯作者：
    and S. Tagawa
Latent Image Created Using Small-Field Exposure Tool for Extreme Ultraviolet Lithography
使用用于极紫外光刻的小视场曝光工具创建潜像
  • DOI：
    10.1143/jjap.48.106506
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
    Jpn. J. Appl. Phys
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    T. Kozawa;H. Oizumi;T. Itani;and S. Tagawa
  • 通讯作者：
    and S. Tagawa
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) Generated in Thin Film upon Exposure to Electron Beam
电子束照射下薄膜中聚（4-羟基苯乙烯）自由基阳离子的动力学
  • DOI：
  • 发表时间：
    2010
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    K. Natsuda;T. Kozawa;K. Okamoto;A. Saeki;and S. Tagawa
  • 通讯作者：
    and S. Tagawa
Determination of Optimum Thermalization Distance Based on Trade-off Relationship between Resolution, Line Edge Roughness and Sensitivity of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
基于化学放大型极紫外光刻胶分辨率、线边缘粗糙度和灵敏度权衡关系确定最佳热化距离
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  • DOI：
    10.1143/jjap.48.06fc05
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
    Jpn. J. Appl. Phys
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    K. Natsuda;T. Kozawa;K. Okamoto;A. Saeki;and S. Tagawa
  • 通讯作者：
    and S. Tagawa
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