刷新
{{item.name}}会员
Study on nanoscale chemical reaction for the establishment of scientific foundation of ultrafine patterning using extreme ultraviolet radiation
纳米化学反应研究为极紫外辐射超精细图案化奠定科学基础
基本信息
- 批准号：19360428
- 负责人：
- 金额：$ 12.23万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2007
- 资助国家：日本
- 起止时间：2007 至 2009
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The reaction mechanism of resist pattern formation and the spatial distribution of reactive intermediates were clarified through the pulse radiolysis of model materials for the resists used for the mass-production of semiconductor devices. On the basis of the reaction mechanisms, a Monte Carlo simulation code was developed.
通过对用于半导体器件批量生产的抗蚀剂模型材料的脉冲辐解，阐明了抗蚀剂图形形成的反应机理和反应中间体的空间分布。在反应机理的基础上，开发了Monte Carlo模拟程序。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) and Its Copolymer for Extreme Ultraviolet and Electron Beam Resists
聚(4-羟基苯乙烯)及其共聚物的自由基阳离子动力学用于极紫外和电子束抗蚀剂
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Okamoto;M. Tanaka;T. Kozawa;S. Tagawa
- 通讯作者：S. Tagawa
Point Spread Function for the Calculation of Acid Distribution in Chemically Amplified Resists Used for Electron-Beam Lithography
用于计算电子束光刻用化学放大抗蚀剂中酸分布的点扩散函数
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Kozawa;S. Tagawa
- 通讯作者：S. Tagawa
heoretical Study on the Dependence of Acid Distribution on Material Properties of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
酸分布对化学增强极紫外光刻胶材料性能依赖性的理论研究
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Kozawa;S. Tagawa;M. Shell
- 通讯作者：M. Shell
Theoretical Study on the Dependence of Acid Distribution on Material Properties of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
酸分布对化学放大极紫外光刻胶材料性能依赖性的理论研究
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Kozawa;S. Tagawa;M. Shell
- 通讯作者：M. Shell
Effect of molecular structures of acid generators on acid generation in chemically amplified resists upon exposure to 75 keV electron beam
酸生成剂的分子结构对化学放大抗蚀剂暴露于 75 keV 电子束时酸生成的影响
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Natsuda;T. Kozawa;K. Okamoto;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
KOZAWA Takahiro其他文献
KOZAWA Takahiro的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('KOZAWA Takahiro', 18)}}的其他基金
Study on nanoscale chemical reactions and reaction sites using quantum beams
利用量子束研究纳米级化学反应和反应位点
- 批准号：
22246128 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Study on the expanse of thermalized electrons in condensed matters
凝聚态物质中热化电子的扩展研究
- 批准号：
21656238 - 财政年份：2009
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
相似海外基金
RII Track-4:NSF: Design of zeolite-encapsulated metal phthalocyanines catalysts enabled by insights from synchrotron-based X-ray techniques
RII Track-4：NSF：通过基于同步加速器的 X 射线技术的见解实现沸石封装金属酞菁催化剂的设计
- 批准号：
2327267 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Standard Grant
RII Track-4:@NASA: Bluer and Hotter: From Ultraviolet to X-ray Diagnostics of the Circumgalactic Medium
RII Track-4：@NASA：更蓝更热：从紫外到 X 射线对环绕银河系介质的诊断
- 批准号：
2327438 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Standard Grant
乳がん早期診断のためのX線回折波2重撮影法に基づくマンモグラフィ装置の開発
基于X射线衍射波双重成像方法的乳腺癌早期诊断乳腺X线摄影装置的研制
- 批准号：
24K07522 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
軟X線吸収分光法を用いた水素雰囲気下での水素吸蔵合金表面の研究
氢气氛下储氢合金表面的软X射线吸收光谱研究
- 批准号：
24K08260 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
重金属イオンの溶解に着眼した完全透明なX線遮蔽材料に関する研究
聚焦重金属离子溶解的全透明X射线屏蔽材料研究
- 批准号：
24KJ0449 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
パルスX線の線量の量子トレーサブルな計測技術の開発
脉冲X射线剂量量子溯源测量技术开发
- 批准号：
24K10775 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
データ同化技法で拓く適応照射のための2D-X線透視像からの実時間的3D体内動態の推定
使用数据同化技术从 2D-X 射线透视图像实时估计 3D 身体动力学以进行自适应照射
- 批准号：
24K10778 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
放射光白色X線を利用した微小血管造影システムの基礎的開発
同步辐射白X射线显微血管造影系统的基础研究
- 批准号：
24K10798 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
軟X線高強度レーザー電場中での共有結合性希ガス分子の形成
软X射线高强度激光电场中共价惰性气体分子的形成
- 批准号：
24K15609 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
X-ray photoelectron spectrometer (XPS)
X射线光电子能谱仪（XPS）
- 批准号：
525733742 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.23万 - 项目类别：
Major Research Instrumentation