Surface modification by nano structure self-organized using laser irradiation

利用激光照射自组织纳米结构进行表面改性

• 批准号: 22560131
• 负责人: KANEKO Satoru
• 金额: $ 2.33万
• 依托单位: Kanagawa Industrial Technology Center
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560131/
• 关键词: ナノ; マイクロ加工; 微細加工; ナノ構造; レーザー照射; ナノ周期構造; レーザー加工; 高速スキャン; CWレーザ; CWレーザー

Establishment of new method to self-organize nano-structure by using scanning CW laser, and evaluation of process to grow the nano-structure. High though-put can be possible with high scanning speed of 300 m/mim. Structural function, such as structural color and water-repellent, were verified on the nano-structure.

建立了利用扫描连续激光自组织纳米结构的新方法，并对纳米结构的生长过程进行了评价。300 m/mim的高扫描速度可以实现高吞吐量。在纳米结构上验证了其结构功能，如结构色和疏水性。

项目成果

Effect of Surface on Silioon Substrate Irradiated by Tnfrared and Ultraviolet CW Lasers

红外和紫外连续激光器辐照表面对硅基片的影响

• 发表时间: 2011
• 期刊: IEEJ Transacton
• 作者: 熊谷正夫;他;金子智(第3著者);金子智(第一著者);金子智(第一著者)
• 通讯作者: 金子智(第一著者)

Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device

硅表面连续激光退火对功率器件应用的影响

• 发表时间: 2011
• 期刊: World Academy of Science, Engineering and Technology
• 作者: Satoru Kaneko;Takeshi Ito;Kensuke Akiyama;Manabu Yasui;Chihiro Kato;Satomi Tanaka;Yasuo Hirabayashi;Takeshi Ozawa;Akira Matsuno;Takashi Nire;Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto
• 通讯作者: Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto

2波長CWレーザスキャンによるナノ周期構造の形成～表面新機能を発現させる高速プロセス～

通过双波长连续激光扫描形成纳米周期结构 - 开发新表面功能的高速工艺 -

• 发表时间: 2012
• 作者: 金子智;松野明;吉本護
• 通讯作者: 吉本護

Periodic nano trench structure fabricated by high-speed scanning CW laser

高速扫描连续激光制备周期性纳米沟槽结构

• DOI: 10.1117/12.905970
• 发表时间: 2012
• 作者: S. Kaneko;T. Ito;M. Yasui;C. Kato;Satomi Tanaka;T. Ozawa;Y. Hirabayashi;A. Matsuno;T. Nire;M. Yoshimoto
• 通讯作者: M. Yoshimoto

Effect of CW Laser Annealing on Silioon Surface for Application of Power Device

硅表面连续激光退火对功率器件应用的影响

• 发表时间: 2011
• 期刊: World Academy of Science, Engineering and Technology
• 作者: Satoru Kaneko;Kensuke Akiyama;Takeshi Ito;Manabu Yasui;Yu Motoizumi;Satomi Tanaka;Chihiro Kato;Yasuo Hirabayashi;Takeshi Ozawa;Akira Matsuno;Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto;金子智(第一著者);金子智(第一著者)
• 通讯作者: 金子智(第一著者)