利用激光照射自组织纳米结构进行表面改性-猫眼课题宝

利用激光照射自组织纳米结构进行表面改性

批准号：

22560131

负责人：

KANEKO Satoru

金额：

$2.33万

依托单位：

Kanagawa Industrial Technology Center

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

财政年份：

2010

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2010 至 2012

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560131/

关键词：

ナノマイクロ加工微細加工ナノ構造レーザー照射ナノ周期構造レーザー加工高速スキャン CWレーザ CWレーザー

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项目成果

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Establishment of new method to self-organize nano-structure by using scanning CW laser, and evaluation of process to grow the nano-structure. High though-put can be possible with high scanning speed of 300 m/mim. Structural function, such as structural color and water-repellent, were verified on the nano-structure.

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会议论文

Effect of Surface on Silioon Substrate Irradiated by Tnfrared and Ultraviolet CW Lasers

红外和紫外连续激光器辐照表面对硅基片的影响

DOI： --

发表时间： 2011

期刊：

IEEJ Transacton

影响因子： --

作者：

[熊谷正夫, 他, 金子智(第3著者), 金子智(第一著者), 金子智(第一著者)]

通讯作者：金子智(第一著者)

Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device

硅表面连续激光退火对功率器件应用的影响

DOI： --

发表时间： 2011

期刊：

World Academy of Science, Engineering and Technology

影响因子： --

作者：

[Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Kensuke Akiyama, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire, Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto]

通讯作者： Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto

2波長CWレーザスキャンによるナノ周期構造の形成～表面新機能を発現させる高速プロセス～

通过双波长连续激光扫描形成纳米周期结构 - 开发新表面功能的高速工艺 -

DOI： --

发表时间： 2012

期刊：

影响因子： --

作者：

[金子智, 松野明, 吉本護]

通讯作者：吉本護

Periodic nano trench structure fabricated by high-speed scanning CW laser

高速扫描连续激光制备周期性纳米沟槽结构

DOI： 10.1117/12.905970

发表时间： 2012

期刊：

影响因子： --

作者：

[S. Kaneko, T. Ito, M. Yasui, C. Kato, Satomi Tanaka, T. Ozawa, Y. Hirabayashi, A. Matsuno, T. Nire, M. Yoshimoto]

通讯作者： M. Yoshimoto

Effect of CW Laser Annealing on Silioon Surface for Application of Power Device

硅表面连续激光退火对功率器件应用的影响

DOI： --

发表时间： 2011

期刊：

World Academy of Science, Engineering and Technology

影响因子： --

作者：

[Satoru Kaneko, Kensuke Akiyama, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Yu Motoizumi, Satomi Tanaka, Chihiro Kato, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto, 金子智(第一著者), 金子智(第一著者)]

通讯作者：金子智(第一著者)