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Development of precision hybrid diamond tool and its application to micro-device fabrication

Development of precision hybrid diamond tool and its application to micro-device fabrication
精密混合金刚石工具的研制及其在微器件制造中的应用
批准号：
23360067
负责人：
MORITA Noboru
金额：
$11.81万
依托单位：
Chiba University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011-04-01 至 2014-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360067/
关键词：
微細加工AFMFIBカンチレバー精密部品加工工具CVDダイヤモンドナノ加工

项目摘要

项目成果

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The purpose of this study was to develop high precision micro-diamond tool and to apply device fabrication with micro-structure. A diamond cutting tool was fabricated with silicon mold, and CVD diamond deposition, and then the edge with point, front, and side angles was conditioned with FIB. The diamond tool was attached to tool holders. In order to attach in desired position accurately, tool fabrication machine was fabricated. High-aspect ratio V-groove machining was demonstrated with the developed tools.
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会议论文
集束イオンビーム (FIB) を用いたダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性
聚焦离子束（FIB）金刚石切削刀具的制作及其切削特性
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [庭田智行, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁,笹岡秀紀]
通讯作者： 西村一仁,笹岡秀紀
加工用AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工に関する研究
AFM悬臂梁高效微加工研究
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [園部修也, 高野登, 山田茂, 森田昇]
通讯作者： 森田昇
旋削加工における背分力制御に関する研究
车削加工推力控制研究
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [T.Makino, Y.Neishi, D.Shiozawa, Y.Fukuda and Y.Nakai, 李 振星，Dao Duy Thang,長尾 忠昭，吉野 雅彦, 山崎行浩，森田昇，比田井洋史，松坂壮太]
通讯作者： 山崎行浩，森田昇，比田井洋史，松坂壮太
Improving machining performance of single-crystal diamond tools irradiated by a focused ion beam
DOI： 10.1016/j.precisioneng.2013.09.001
发表时间： 2014-01-01
期刊： PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
影响因子： 3.6
作者： [Kawasegi, Noritaka, Niwata, Tomoyuki, Sasaoka, Hideki]
通讯作者： Sasaoka, Hideki
Fabrication of plasma generator enhanced hot filament and research of phase-change from diamond to graphite
  • 批准号：
    25630016
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.41万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    Chiba University
Development of fault detection/diagnosis method of multi-layered interconnection in LSI circuit by AFM mechanism
  • 批准号：
    23656101
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.91万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    Chiba University
The study on development of multifunctional diamond tools and its applications for micro/nano scale machining
  • 批准号：
    20360067
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $6.24万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    University of Toyama
Development of three-dimensional nanomachining and measuring system and its application to nano-scale molding
  • 批准号：
    16360064
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $5.57万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    University of Toyama
国内基金
海外基金
基于AFM纳米力学的锡石和方解石之间的界面力测量与作用机理研究
  • 批准号：
    2025JJ60313
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    刘胜
  • 依托单位：
    中南大学
从GPR81/HIF-1 α驱动的MDSC代谢重塑联 合DESI-MSI/AFM策略探讨紫草多糖抑制 CRC进程的药效物质结构和作用机制
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    邵萌
  • 依托单位：
    南方医科大学
新型B1类金属B-内酰胺酶AFM介导亚胺培南耐药的分子进化机制
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    张雪飞
  • 依托单位：
    河南省肿瘤医院
基于AFM的限域水介电常数测量方法构建及在限域传质机制探究中的应用
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    --
  • 资助金额：
    30万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    付宛宜
  • 依托单位：
    南京大学