Development of precision hybrid diamond tool and its application to micro-device fabrication

精密混合金刚石工具的研制及其在微器件制造中的应用

• 批准号: 23360067
• 负责人: MORITA Noboru
• 金额: $ 11.81万
• 依托单位: Chiba University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360067/
• 关键词: 微細加工; AFM; FIB; カンチレバー; 精密部品加工; 工具; CVD; ダイヤモンド; ナノ加工

The purpose of this study was to develop high precision micro-diamond tool and to apply device fabrication with micro-structure. A diamond cutting tool was fabricated with silicon mold, and CVD diamond deposition, and then the edge with point, front, and side angles was conditioned with FIB. The diamond tool was attached to tool holders. In order to attach in desired position accurately, tool fabrication machine was fabricated. High-aspect ratio V-groove machining was demonstrated with the developed tools.

本研究旨在开发高精度的微细金刚石工具，并应用于微结构的器件制造。用硅模具制作金刚石刀具，并进行化学气相沉积金刚石，然后用FIB对具有尖角、前角和侧角的边缘进行处理。金刚石工具连接到工具夹。为了精确地连接到所需的位置，制造了工具制造机。高纵横比的V形槽加工证明与开发的工具。

项目成果

集束イオンビーム (FIB) を用いたダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性

聚焦离子束（FIB）金刚石切削刀具的制作及其切削特性

• 发表时间: 2013
• 作者: 庭田智行;川堰宣隆;森田昇;西村一仁,笹岡秀紀
• 通讯作者: 西村一仁,笹岡秀紀

加工用AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工に関する研究

AFM悬臂梁高效微加工研究

• 发表时间: 2013
• 作者: 園部修也;高野登;山田茂;森田昇
• 通讯作者: 森田昇

旋削加工における背分力制御に関する研究

车削加工推力控制研究

• 发表时间: 2013
• 作者: T.Makino;Y.Neishi;D.Shiozawa;Y.Fukuda and Y.Nakai;李 振星，Dao Duy Thang,長尾 忠昭，吉野 雅彦;山崎行浩，森田昇，比田井洋史，松坂壮太
• 通讯作者: 山崎行浩，森田昇，比田井洋史，松坂壮太

Improving machining performance of single-crystal diamond tools irradiated by a focused ion beam

• DOI: 10.1016/j.precisioneng.2013.09.001
• 发表时间: 2014-01-01
• 期刊: PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
• 影响因子: 3.6
• 作者: Kawasegi, Noritaka;Niwata, Tomoyuki;Sasaoka, Hideki
• 通讯作者: Sasaoka, Hideki

ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第3報 : FIB により先鋭化した加工用 AFM カンチレバーを用いた微細 V 溝加工

使用金刚石阵列刀具进行微加工的研究第 3 部分：使用 AFM 悬臂进行 FIB 锐化加工的精细 V 形槽加工

• 发表时间: 2014
• 期刊: 砥粒加工学会誌
• 作者: 高野登;清水大志;山田茂;森田昇
• 通讯作者: 森田昇