The study on development of multifunctional diamond tools and its applications for micro/nano scale machining

多功能金刚石刀具研制及其在微纳米加工中的应用研究

• 批准号: 20360067
• 负责人: MORITA Noboru
• 金额: $ 6.24万
• 依托单位: University of Toyama
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20360067/
• 关键词: 多機能ダイヤモンド工具; マイクロ加工; ナノ加工; 多機能型ダイヤモンド工具; 極微細加工; 集束イオンビーム; 選択成長

The aim of this study is a development of various multifunctional diamond tools and its application for micro/nano scale machining. First of all, a diamond synthetic apparatus has designed and manufactured. The precise diamond tip has obtained. The next, an apparatus has manufactured for bonding diamond tip to shank, then the diamond tools with high accuracy. The tools have accomplished a few micrometer scale machining.

本研究的目的是开发各种多功能金刚石工具及其在微/纳米尺度加工中的应用。首先，设计并制作了金刚石合成装置。获得了精密的金刚石刀头。其次，研制了金刚石刀头与刀柄的粘接装置，从而研制出高精度的金刚石工具。这些工具已经完成了几微米尺度的加工。

项目成果

森田昇、高野登、ダイヤモンドアレイ工具の微細加工への応用、日本機械学会RC240多軸複合工作機械の高度化技術に関する研究分科会研究報告書、2010、pp.159-162

森田登、高野升，金刚石阵列刀具在微加工中的应用，日本机械工程学会RC240多轴多轴机床先进技术研究小组委员会，2010年，第159-162页

マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究

加工中心式纳米加工及测量系统开发研究

• 发表时间: 2008
• 期刊: 精密工学会誌(精密工学会論文賞受賞) 74巻、11号
• 作者: 稲垣清紀;森田昇;芦田極;斉藤潤二
• 通讯作者: 斉藤潤二

Development of a Small Machining Center Equipped With Nanomachining and Measurement Functions、3rd JSME/ASME

配备纳米加工和测量功能的小型加工中心的开发，第三届 JSME/ASME

• 发表时间: 2008
• 期刊: International Conference on Materials and Processing
• 作者: 稲垣清紀;森田昇;芦田極;斉藤潤二
• 通讯作者: 斉藤潤二

マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工

使用微型金刚石工具对单晶硅进行微加工

• 发表时间: 2008
• 作者: 稲垣清紀;森田昇;山田茂;高野登;大山達雄
• 通讯作者: 大山達雄