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The study on development of multifunctional diamond tools and its applications for micro/nano scale machining

The study on development of multifunctional diamond tools and its applications for micro/nano scale machining
多功能金刚石刀具研制及其在微纳米加工中的应用研究
批准号：
20360067
负责人：
MORITA Noboru
金额：
$6.24万
依托单位：
University of Toyama
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20360067/
关键词：
多機能ダイヤモンド工具マイクロ加工ナノ加工多機能型ダイヤモンド工具極微細加工集束イオンビーム選択成長

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The aim of this study is a development of various multifunctional diamond tools and its application for micro/nano scale machining. First of all, a diamond synthetic apparatus has designed and manufactured. The precise diamond tip has obtained. The next, an apparatus has manufactured for bonding diamond tip to shank, then the diamond tools with high accuracy. The tools have accomplished a few micrometer scale machining.
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会议论文
森田昇、高野登、ダイヤモンドアレイ工具の微細加工への応用、日本機械学会RC240多軸複合工作機械の高度化技術に関する研究分科会研究報告書、2010、pp.159-162
森田登、高野升，金刚石阵列刀具在微加工中的应用，日本机械工程学会RC240多轴多轴机床先进技术研究小组委员会，2010年，第159-162页
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究
加工中心式纳米加工及测量系统开发研究
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 精密工学会誌(精密工学会論文賞受賞) 74巻、11号
影响因子： --
作者： [稲垣清紀, 森田昇, 芦田極, 斉藤潤二]
通讯作者： 斉藤潤二
Development of a Small Machining Center Equipped With Nanomachining and Measurement Functions、3rd JSME/ASME
配备纳米加工和测量功能的小型加工中心的开发，第三届 JSME/ASME
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： International Conference on Materials and Processing
影响因子： --
作者： [稲垣清紀, 森田昇, 芦田極, 斉藤潤二]
通讯作者： 斉藤潤二
マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工
使用微型金刚石工具对单晶硅进行微加工
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [稲垣清紀, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄]
通讯作者： 大山達雄
Fabrication of plasma generator enhanced hot filament and research of phase-change from diamond to graphite
  • 批准号：
    25630016
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.41万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    Chiba University
Development of fault detection/diagnosis method of multi-layered interconnection in LSI circuit by AFM mechanism
  • 批准号：
    23656101
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.91万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    Chiba University
Development of precision hybrid diamond tool and its application to micro-device fabrication
  • 批准号：
    23360067
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.81万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    Chiba University
Development of three-dimensional nanomachining and measuring system and its application to nano-scale molding
  • 批准号：
    16360064
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $5.57万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    MORITA Noboru
  • 依托单位：
    University of Toyama
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