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Linear stepping actuator with ultra-fine resolution over a millimeter stroke applying overlapped coaxial differential ball screw
采用重叠同轴差动滚珠丝杠的线性步进执行器，在毫米行程上具有超精细分辨率
基本信息
- 批准号：23560159
- 负责人：
- 金额：$ 3.16万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011 至 2013
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
In this study, a compact linear stepping actuator with ultra-fine resolution over a one-millimeter stroke (millimeter-stroke) is designed and fabricated by integrating a coaxial differential ball screw with a stepping motor. The performance of the fabricated actuator is evaluated experimentally, and a method of error compensation is devised and applied to this actuation system. Consequently, ultra-precise linear stepping actuator is realized with travel deviation of less than 0.06 microns (RMS) and with fine positioning resolution of 5 nm.
在这项研究中，一个紧凑的线性步进驱动器与超精细分辨率超过一毫米行程（毫米行程）的设计和制造集成同轴差动滚珠丝杠与步进电机。实验评估了所制造的致动器的性能，并设计了一种误差补偿方法，并将其应用于该致动系统。从而实现了行程偏差小于0.06微米（RMS）、定位精度为5 nm的超精密直线步进驱动器。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
同軸二重型差動ボールねじを用いたリニアステッピングアクチュエータ
使用同轴双差动滚珠丝杠的线性步进执行器
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Takahiro Fuji; Yuichi Nakamura and Masahito Matsui;深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也;中村裕一;三村徹也，深田茂生
- 通讯作者：三村徹也，深田茂生
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
使用差动滚珠丝杠的毫冲程超精密定位
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Takahiro Fuji; Yuichi Nakamura and Masahito Matsui;深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也;中村裕一;三村徹也，深田茂生;中村裕一;深田茂生，佐藤勇仁，三村徹也
- 通讯作者：深田茂生，佐藤勇仁，三村徹也
送りねじ機構による位置決め精度の向上と高分解能化
使用进给螺杆机构提高定位精度和更高的分辨率
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：S. Fukada;T. Mimura;H. Sato;D. Kobayashi;中村裕一・三嶋将太・土田悠生・松井正仁・今戸啓二;深田茂生
- 通讯作者：深田茂生
同軸二重差動ボールねじを用いたリニアステッピングアクチュエータ
使用同轴双差动滚珠丝杠的线性步进执行器
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：S. Fukada;T. Mimura;H. Sato;D. Kobayashi;久保 祥子・中村裕一・舘 秀樹・松井正仁;三村徹也,深田茂生
- 通讯作者：三村徹也,深田茂生
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め(開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上)
使用差动滚珠丝杠的毫行程超精密定位（开环驱动中的定位性能和通过校正提高精度）
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Takahiro Fuji; Yuichi Nakamura and Masahito Matsui;深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也
- 通讯作者：深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也
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