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Linear stepping actuator with ultra-fine resolution over a millimeter stroke applying overlapped coaxial differential ball screw

Linear stepping actuator with ultra-fine resolution over a millimeter stroke applying overlapped coaxial differential ball screw
采用重叠同轴差动滚珠丝杠的线性步进执行器，在毫米行程上具有超精细分辨率
批准号：
23560159
负责人：
FUKADA Shigeo
金额：
$3.16万
依托单位：
Shinshu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2013
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560159/
关键词：
ボールねじ精密位置決め差動機構アクチュエータ精密機構機械要素

项目摘要

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In this study, a compact linear stepping actuator with ultra-fine resolution over a one-millimeter stroke (millimeter-stroke) is designed and fabricated by integrating a coaxial differential ball screw with a stepping motor. The performance of the fabricated actuator is evaluated experimentally, and a method of error compensation is devised and applied to this actuation system. Consequently, ultra-precise linear stepping actuator is realized with travel deviation of less than 0.06 microns (RMS) and with fine positioning resolution of 5 nm.
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会议论文
同軸二重型差動ボールねじを用いたリニアステッピングアクチュエータ
使用同轴双差动滚珠丝杠的线性步进执行器
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： 2012年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
影响因子： --
作者： [Takahiro Fuji, Yuichi Nakamura and Masahito Matsui, 深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也, 中村裕一, 三村徹也，深田茂生]
通讯作者： 三村徹也，深田茂生
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
使用差动滚珠丝杠的毫冲程超精密定位
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
影响因子： --
作者： [Takahiro Fuji, Yuichi Nakamura and Masahito Matsui, 深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也, 中村裕一, 三村徹也，深田茂生, 中村裕一, 深田茂生，佐藤勇仁，三村徹也]
通讯作者： 深田茂生，佐藤勇仁，三村徹也
送りねじ機構による位置決め精度の向上と高分解能化
使用进给螺杆机构提高定位精度和更高的分辨率
DOI： --
发表时间： 2014
期刊： 日本機械学会第14回機素潤滑設計部門講演会講演論文集
影响因子： --
作者： [S. Fukada, T. Mimura, H. Sato, D. Kobayashi, 中村裕一・三嶋将太・土田悠生・松井正仁・今戸啓二, 深田茂生]
通讯作者： 深田茂生
同軸二重差動ボールねじを用いたリニアステッピングアクチュエータ
使用同轴双差动滚珠丝杠的线性步进执行器
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： 2012年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
影响因子： --
作者： [S. Fukada, T. Mimura, H. Sato, D. Kobayashi, 久保　祥子・中村裕一・舘　秀樹・松井正仁, 三村徹也,深田茂生]
通讯作者： 三村徹也,深田茂生
共 8 条
    Microscopic behavior and ultraprecision positioning performance of a ball screw mechanism under disturbance from machining load
    • 批准号：
      15K05759
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      FUKADA Shigeo
    • 依托单位：
      Shinshu University
    Fabrication and control of ultra-precision positioning mechanism over one-millimeter stroke by using flexure guide and electromagnetic actuator
    • 批准号：
      20560103
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      FUKADA Shigeo
    • 依托单位：
      Shinshu University
    Fabrication of higher precision planer multi-joint positioning mechanism using high-performance joint elements and research on its limit of positioning accuracy
    • 批准号：
      17560223
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      FUKADA Shigeo
    • 依托单位：
      SHINSHU UNIVERSITY
    A Study on Ultra-precise Positioning over A One-millimeter Stroke Using Differential Ball Screw
    • 批准号：
      15560116
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      FUKADA Shigeo
    • 依托单位：
      Shinshu University
    海外基金