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Evaluation of glass thin films by the ultrasonic microspectroscopy technology

Evaluation of glass thin films by the ultrasonic microspectroscopy technology
超声显微光谱技术评价玻璃薄膜
批准号：
23656260
负责人：
KUSHIBIKI Jun-ichi
金额：
$2.58万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656260/
关键词：
超音波マイクロスペクトロスコピー技術薄膜音響特性計測不純物欠陥

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项目成果

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The ultrasonic microspectroscopy technology was applied to evaluation of glass thin films. Two SiO2/Ta2O5 multilayer films were deposited on SiO2 glass substrates by rf ion beam sputtering, and one of them was annealed. Frequency characteristics of leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity were measured for specimens by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system, and LSAW velocity changes due to the annealing were detected. TiO2-SiO2 thin films were also deposited on SiO2 glass substrates or TiO2-SiO2 glass substrates, and LSAW velocity changes due to the fictivetemperature changes of films were detected.
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会议论文
直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス多層膜の評価
使用线性聚焦光束超声材料分析系统评估玻璃多层膜
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Kikuchi, J. Kumano, T. Nakai, S. Hashi, K. Ishiyama, 荒川元孝,櫛引淳一,伊藤和彦,江藤和幸]
通讯作者： 荒川元孝,櫛引淳一,伊藤和彦,江藤和幸
直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス薄膜の評価
使用线性聚焦光束超声材料分析系统评估玻璃薄膜
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Kikuchi, J. Kumano, T. Nakai, S. Hashi, K. Ishiyama, 荒川元孝,櫛引淳一,伊藤和彦,江藤和幸, 荒川元孝,櫛引淳一,伊藤和彦,江藤和幸]
通讯作者： 荒川元孝,櫛引淳一,伊藤和彦,江藤和幸
Development of an optical cavity with residual strain free for optical frequency standards
  • 批准号：
    25630167
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.58万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    KUSHIBIKI Jun-ichi
  • 依托单位：
    Tohoku University
Ultrasonic Microspectroscopy of Wide Bandgap Semiconductor Materials
  • 批准号：
    23246075
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $30.53万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    KUSHIBIKI Jun-ichi
  • 依托单位：
    Tohoku University
Ultrasonic Microspectroscopy of Ultra-High-Quality Synthetic a-Quartz
  • 批准号：
    13555085
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $8.9万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    KUSHIBIKI Jun-ichi
  • 依托单位：
    Tohoku University
Development of a Method to Evaluate the Surface of Single Crystal Substrates for Super-High-Frequency SAW Devices by UMS Technology
  • 批准号：
    12450119
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $9.6万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    KUSHIBIKI Jun-ichi
  • 依托单位：
    Tohoku University
国内基金
海外基金
高性能抗氧化BOPP薄膜加工关键技术研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    王晓丽
  • 依托单位：
    江苏海洋大学
汽车后视镜用高耐腐蚀银合金薄膜材料开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    林改
  • 依托单位：
    江苏城乡建设职业学院
基于稀疏天线阵列的薄膜铌酸锂光学相控阵
  • 批准号：
    JCZRMS202600414
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    中国地质大学（武汉）
CsₓWO₃/CeO₂异质结的构建及其自修复透明隔热薄膜研究
  • 批准号：
    2026JJ50456
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    谭彦妮
  • 依托单位：
    中南大学