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Nanocavities in Si - Structural Evolution and Metal Gettering
硅中的纳米腔 - 结构演化和金属吸杂
基本信息
- 批准号：DP0208814
- 负责人：
- 金额：$ 12.78万
- 依托单位：
- 依托单位国家：澳大利亚
- 项目类别：Discovery Projects
- 财政年份：2002
- 资助国家：澳大利亚
- 起止时间：2002-01-01 至 2004-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Nanocavities represent a novel means of minimising metallic contamination in the active region of Si microelectronic devices. We propose innovative experiments, using in-situ transmission electron microscopy and synchrotron-based x-ray methods, to achiev
纳米腔代表了一种新的手段，最大限度地减少硅微电子器件的有源区中的金属污染。 我们提出了创新的实验，使用原位透射电子显微镜和同步加速器为基础的x射线方法，以实现
项目成果
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- 资助金额：
$ 12.78万 - 项目类别：
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