Measurement method for polarity-inverted layered piezoelectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy

使用扫描非线性介电显微镜测量极性反转层状压电薄膜的方法

• 批准号: 15K04725
• 负责人: ODAGAWA HIROYUKI
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: National Institute of Technology, Kumamoto College
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15K04725/
• 关键词: 分極反転; 圧電薄膜; 走査型非線形誘電率顕微法; 極性反転構造; 極性反転圧電薄膜; 層厚測定; 分極反転層; AlN圧電薄膜

项目成果

Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy

使用扫描非线性介电显微镜测量介电薄膜中极性反转层状结构的方法

• DOI: 10.1080/00150193.2016.1169493
• 发表时间: 2016
• 期刊: Ferroelectrics
• 影响因子: 0.8
• 作者: Hiroyuki Odagawa;Koshiro Terada;Hiroaki Nishikawa;Takahiko Yanagitani;Yasuo Cho
• 通讯作者: Yasuo Cho

Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy

扫描非线性介电显微镜定量测量极性反转压电薄膜层的厚度

• DOI: 10.7567/jjap.56.10pf18
• 发表时间: 2017
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: Hiroyuki Odagawa;Koshiro Terada;Yohei Tanaka;Hiroaki Nishikawa;Takahiko Yanagitani and Yasuo Cho
• 通讯作者: Takahiko Yanagitani and Yasuo Cho

Quantitative Thickness Measurement in Layered Polarity-Inverted Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy

使用扫描非线性介电显微镜定量测量层状极性反转压电薄膜的厚度

• 发表时间: 2016
• 作者: Koshiro Terada;Hiroaki Nishikawa;Yohei Tanaka1;Hiroyuki Odagawa1;Takahiko Yanagitani;and Yasuo Cho
• 通讯作者: and Yasuo Cho

走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定

使用扫描非线性介电常数显微镜定量测量层状极性反转压电薄膜的层厚度

• 发表时间: 2015
• 作者: 寺田浩士朗;西川宏明;田中陽平;小田川裕之;柳谷隆彦;長康雄
• 通讯作者: 長康雄

走査型非線形誘電率顕微法に・E謔驪ﾉ性反転層状構造圧電薄膜の層厚の定量測定

使用扫描非线性介电常数显微镜定量测量具有倒层结构的压电薄膜的层厚

• 发表时间: 2015
• 期刊: 電子情報通信学会技術報告
• 作者: 寺田浩士朗;西川宏明;田中陽平;小田川裕之;柳谷隆彦;長康雄
• 通讯作者: 長康雄