Development of retarding field energy analyzer that can measure energy distribution of negative ions

开发可测量负离子能量分布的减速场能量分析仪

• 批准号: 16K04995
• 负责人: MATSUDA Yoshinobu
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Nagasaki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-10-21 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K04995/
• 关键词: 反射電界型エネルギー分析器; マグネトロンスパッタリング; イオンエネルギー分布; 金属添加酸化亜鉛; 透明導電膜; 負イオン; スパッタリング; マグネトロン; 減速電界型エネルギー分析器; プラズマ; ZnO

项目成果

Development of compact retarding field energy analyzer for measuring ion energy distribution in planar magnetron discharge

开发用于测量平面磁控管放电中离子能量分布的紧凑型减速场能量分析仪

• 发表时间: 2018
• 作者: Masaki Ishiba;Yoshinobu Mastuda;Atsushi Kina;Tomohiro Furusato;and Takahiko Yamashita
• 通讯作者: and Takahiko Yamashita

マグネトロンスパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布関数の測定

磁控溅射中基片入射离子能量分布函数的测量

• 发表时间: 2018
• 作者: Yoshinobu Mastuda;Naoki Matsuo;Masaki Ishiba;Tomohiro Furusato;and Takahiko Yamashita;石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦;石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦
• 通讯作者: 石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦

イオンエネルギー分布測定用遅延電界型エネルギーアナライザーの製作

测量离子能量分布的延迟电场型能量分析仪的制作

• 发表时间: 2016
• 作者: 松尾 直樹;古里 友宏，山下 敬彦;松田 良信;坂本康平，佐藤貴紀，松尾直樹，篠原正典，松田良信;佐藤貴紀，坂本康平，松尾直樹，篠原正典，松田良信
• 通讯作者: 佐藤貴紀，坂本康平，松尾直樹，篠原正典，松田良信

RFマグネトロンスパッタGa添加ZnO膜の導電性に及ぼすバッファ層の効果

缓冲层对射频磁控溅射Ga掺杂ZnO薄膜电导率的影响

• 发表时间: 2016
• 作者: 松尾 直樹;坂本 康平;佐藤 貴紀;小山田 俊介;篠原 正典;松田 良信
• 通讯作者: 松田 良信

Diagnostic Research on Magnetron Sputter-Deposition of Metal-Doped ZnO Films

金属掺杂ZnO薄膜磁控溅射沉积诊断研究

• 发表时间: 2017
• 作者: Yoshinobu Matsuda;Kohei Sakamoto;Takaki Sato;Naoki Matsuo;and Masanori Shinohara
• 通讯作者: and Masanori Shinohara