课题基金 / 基金详情

Development of retarding field energy analyzer that can measure energy distribution of negative ions

Development of retarding field energy analyzer that can measure energy distribution of negative ions
开发可测量负离子能量分布的减速场能量分析仪
批准号：
16K04995
负责人：
MATSUDA Yoshinobu
金额：
$3.08万
依托单位：
Nagasaki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-10-21 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K04995/
关键词：
反射電界型エネルギー分析器マグネトロンスパッタリングイオンエネルギー分布金属添加酸化亜鉛透明導電膜負イオンスパッタリングマグネトロン減速電界型エネルギー分析器プラズマZnO

项目摘要

项目成果

MATSUDA Yoshinobu的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Development of compact retarding field energy analyzer for measuring ion energy distribution in planar magnetron discharge
开发用于测量平面磁控管放电中离子能量分布的紧凑型减速场能量分析仪
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Masaki Ishiba, Yoshinobu Mastuda, Atsushi Kina, Tomohiro Furusato, and Takahiko Yamashita]
通讯作者： and Takahiko Yamashita
マグネトロンスパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布関数の測定
磁控溅射中基片入射离子能量分布函数的测量
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Yoshinobu Mastuda, Naoki Matsuo, Masaki Ishiba, Tomohiro Furusato, and Takahiko Yamashita, 石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦, 石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦]
通讯作者： 石場 将希，喜納 淳，松田 良信，古里友宏，山下敬彦
イオンエネルギー分布測定用遅延電界型エネルギーアナライザーの製作
测量离子能量分布的延迟电场型能量分析仪的制作
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [松尾 直樹, 古里 友宏，山下 敬彦, 松田 良信, 坂本康平，佐藤貴紀，松尾直樹，篠原正典，松田良信, 佐藤貴紀，坂本康平，松尾直樹，篠原正典，松田良信]
通讯作者： 佐藤貴紀，坂本康平，松尾直樹，篠原正典，松田良信
RFマグネトロンスパッタGa添加ZnO膜の導電性に及ぼすバッファ層の効果
缓冲层对射频磁控溅射Ga掺杂ZnO薄膜电导率的影响
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [松尾 直樹, 坂本 康平, 佐藤 貴紀, 小山田 俊介, 篠原 正典, 松田 良信]
通讯作者： 松田 良信
共 21 条
    Plasma-Assist Effect on the Sputter-Deposition Process of Transparent Conductive Metal-doped Zinc Oxide Thin Films
    • 批准号：
      20540485
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      MATSUDA Yoshinobu
    • 依托单位：
      Nagasaki University
    Studies on Reactive Sputtering Processes of Oxide Thin Films
    • 批准号：
      11680488
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.02万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      MATSUDA Yoshinobu
    • 依托单位：
      Nagasaki University
    海外基金