Controlling the indium oxide surface by hydrogen radical treatment and its applications
Controlling the indium oxide surface by hydrogen radical treatment and its applications
批准号:
16K06741
负责人:
Higurashi Eiji
金额:
$3.0万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2016
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2016-04-01 至 2019-03-31
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インジウムペーストの水素ラジカル処理による洗浄不要なバンプ作製
铟浆氢基处理无需清洗即可制作凸块
DOI:
--
发表时间:
2018
期刊:
第32回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集
影响因子:
--
作者:
[古山洸太, 日暮栄治, 須賀唯知]
通讯作者:
須賀唯知
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) Analysis of Oxidation Behavior of Hydrogen-radical-treated Cu Surfaces
氢自由基处理铜表面氧化行为的 X 射线光电子能谱 (XPS) 分析
DOI:
10.1541/ieejsmas.139.38
发表时间:
2019
期刊:
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
影响因子:
--
作者:
[申盛斌, 日暮栄治, 古山洸太, 山本道貴, 須賀唯知]
通讯作者:
須賀唯知
Low temperature copper-copper bonding in ambient air using hydrogen radical pretreatment
使用氢自由基预处理在环境空气中进行低温铜-铜键合
DOI:
--
发表时间:
2019
期刊:
Proc.of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
影响因子:
--
作者:
[Seongbin Shin, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga]
通讯作者:
and Tadatomo Suga
DOI:
--
发表时间:
2018
期刊:
第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (MES 2018) 論文集
影响因子:
--
作者:
[S. Shin, E. Higurashi, M. Yamamoto, and T. Suga]
通讯作者:
and T. Suga
Hydrogen radical treatment for suppression of oxidation and contamination at copper surfaces
用于抑制铜表面氧化和污染的氢自由基处理
DOI:
--
发表时间:
2017
期刊:
The 8th Japan-China-Korea MEMS/NEMS with NANO KOREA 2017
影响因子:
--
作者:
[S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga]
通讯作者:
and T. Suga
共 7 条
Room-temperature bonding of compound semiconductors and its application to high heat dissipation structure
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批准号:25289085
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$10.98万
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财政年份:2013
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负责人:Higurashi Eiji
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依托单位:
海外基金