Process technologies for integrating nano-crystalline Si and wide-bandgap semiconductors aiming to fabricating novel optoelectronics devices

集成纳米晶硅和宽带隙半导体的工艺技术，旨在制造新型光电子器件

基本信息

  • 批准号：
    16H04327
  • 负责人：
    KONDOH Eiichi
  • 金额：
    $ 5.16万
  • 依托单位：
    University of Yamanashi
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份：
    2016
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2016-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量（0）
DENSITY EVALUATION OF SUB-100 nm PARTICLES BY USING ELLIPSOMETRY
使用椭圆光度法评估 100 nm 以下颗粒的密度
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    Proceedings of International Conference of Planarization/CMP Technology
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    L. Jin;T. Takaguchi;E. Kondoh and B. Gelloz;安藤亮，小峰啓史;波多野陽，昊亭，王道洪，高木伸之;小峰啓史，青野友祐，村田正行，長谷川靖洋;Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
  • 通讯作者：
    Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
イメージングエリプソメトリーによるナノ結晶シリコンの製作評価
通过成像椭圆光度法评估纳米晶硅的制造
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    A. Kuchmizhak;S.A. Kulinich;秋山 泰輝，飯塚 祐基，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
  • 通讯作者：
    秋山 泰輝，飯塚 祐基，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール
光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測
利用光电导在 HF 溶液中光刻观察多孔硅纳米结构
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Bernard Gelloz;不破 弘樹，近藤 英一，金 蓮花
  • 通讯作者：
    不破 弘樹，近藤 英一，金 蓮花
In situ ellipsometry of Cu surfaces immersed in benzotriazole-hydrogen peroxide solutions
浸入苯并三唑-过氧化氢溶液中的铜表面的原位椭圆测量
  • DOI：
    10.7567/jjap.55.06jg03
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
    Japanese Journal of Applied Physics
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    R. Ando;T. Komine,;Eiichi Kondoh Tatsuya Kawakami Mitsuhiro Watanabe Lianhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
  • 通讯作者：
    Eiichi Kondoh Tatsuya Kawakami Mitsuhiro Watanabe Lianhua Jin Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
その場分光エリプソメトリ測定を用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面の初期処理過程の解析
原位光谱椭偏测量分析BTA-H2O2混合溶液中Cu表面的初始处理过程
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    瀬川紘幹 近藤英一 濱田聡美 嶋昇平 檜山浩國
  • 通讯作者：
    瀬川紘幹 近藤英一 濱田聡美 嶋昇平 檜山浩國
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  • 通讯作者：
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    $ 5.16万
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    2006
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    $ 5.16万
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