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Laterales Wachstum von Si- und SiGe-LPE Schichten auf strukturierten Substraten
在结构化基底上横向生长 Si 和 SiGe LPE 层
基本信息
- 批准号：5446220
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Research Grants
- 财政年份：2005
- 资助国家：德国
- 起止时间：2004-12-31 至 2008-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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