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Laterales Wachstum von Si- und SiGe-LPE Schichten auf strukturierten Substraten

Laterales Wachstum von Si- und SiGe-LPE Schichten auf strukturierten Substraten
在结构化基底上横向生长 Si 和 SiGe LPE 层
批准号:
5446220
负责人:
Dr. Torsten Boeck
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Research Grants
财政年份:
2005
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2004-12-31 至 2008-12-31

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