Mask Aligner

光刻技术是微系统技术的核心技术，也是微系统技术的重要组成部分。Der Mask Aligner ermöglicht dabei die präzise Justierung von Maske und Substrat und anschließend die hochgenaue Übertragung der Mikrostrukturen und ist somit ein zentrales und unverzichtbares Gerät für die Fotolithografie.这不是一个简单的问题。kein anderes Gerät，das diese hohen Anforderungen erfüllt，ohne die es aber nicht möglich ist，Komponenten für Mikrosensoren，-aktoren und -systeme zu fertigen Am Institut für Mikrotechnik wird der Mask Aligner für jedes Forschungsprojekt bötigt.从1996年开始，该研究所就一直在德国和德国的大市场上工作。一个来自Hersteller的客户在他的指导下完成了这个任务，但这个经理并没有做梅尔的工作。Es ist damit zu rechnen，dass das Gerät kurzfristig ganz ausfällt，was die Einstellung der gesamten mikrotechnischen Fertigung und damit eine langfristige Unterbrechung nahezu阿勒Forschungsarbeiten zur Folge haben würde.这是一个很好的地方，需要一个更好的选择。这场悲剧使老年人的生活变得更加美好。Belichtungseinheit和硬-和软件的平衡是技术支持的基础。

Die Fotolithografie ist eine Kerntechnologie in der Mikrosystemtechnik und kommt in nahezu jedem mikrotechnischen Fertigungsablauf zum Einsatz. Der Mask Aligner ermöglicht dabei die präzise Justierung von Maske und Substrat und anschließend die hochgenaue Übertragung der Mikrostrukturen und ist somit ein zentrales und unverzichtbares Gerät für die Fotolithografie. Es gibt keine andere Möglichkeit bzw. kein anderes Gerät, das diese hohen Anforderungen erfüllt, ohne die es aber nicht möglich ist, Komponenten für Mikrosensoren, –aktoren und –systeme zu fertigen Am Institut für Mikrotechnik wird der Mask Aligner für jedes Forschungsprojekt benötigt. Das Gerät, das das Institut seit 1996 besitzt, weist inzwischen deutliche und maßgebliche Mängel auf. Eine vor kurzem vom Hersteller durchgeführte Wartung hat ergeben, dass diese Mängel nicht mehr zu beheben sind. Es ist damit zu rechnen, dass das Gerät kurzfristig ganz ausfällt, was die Einstellung der gesamten mikrotechnischen Fertigung und damit eine langfristige Unterbrechung nahezu aller Forschungsarbeiten zur Folge haben würde. Es ist daher zwingend notwendig, rechtzeitig ein Ersatzgerät zu beschaffen. Das beantragte Ersatzgerät entspricht hinsichtlich seiner grundsätzlichen Leistungsmerkmale dem des vorhandenen Geräts. Bezüglich der Belichtungseinheit und der Hard- und Softwareausstattung ist es dem aktuellen Stand der Technik angepasst.